自我清理的芯片製造工具 - 彭博社

半導體行業面臨的製造挑戰無與倫比：這個過程是如此微妙，以至於在光學顯微鏡下看不見的污染物也能毀掉一個芯片。即使在最好的製造線上，至少有20%的產品會被判定為缺陷。IBM公司估計，全球因污染物造成的缺陷每年給行業帶來的損失超過10億美元。

芯片製造商和半導體設備公司一直專注於改善潔淨室的質量和加工化學品的純度。現在，IBM科學家的新研究指向了一個不同的方向：自清潔芯片製造工具。

研究人員使用激光光線觀察芯片製造中使用的等離子體工具的真空室內部。他們發現，在正常操作過程中，一團微觀污染物漂浮在製造芯片的硅晶圓上。他們還發現，對工具進行相對便宜的設計修改可以減少這個問題。實際上，這些污染物可以被偏轉離開晶圓——進入一個電氣“排水管”——並被抽出工具。