我國製成亞納米級光學零件加工設備 為全球第三個掌握此類技術國家

超精密光學零件加工技術在包括激光核聚變項目在內的多個國家重大型號工程都有廣泛應用，提高這一技術的工作速度和精度至關重要。軍報記者從國防科技大學獲悉，由該校機電工程與自動化學院自主研製的新一代超精密光學零件加工設備，日前通過相關單位組織的工藝考核。考核結果表明，該套設備加工精度實現亞納米級重大突破，標誌我國超精密光學零件加工技術跨入世界領先行列。

國內首台具有納米精度的磁流變拋光設備和離子束拋光設備

超精密加工技術是先進裝備製造的關鍵技術，納米精度被譽為超精密加工技術“皇冠上的明珠”。過去，由於我國光學零件加工技術落後，無法進行大口徑、高精度、複雜面形的光學零件加工，嚴重製約相關領域的技術進步。20世紀80年代以來，該校精密工程創新團隊在李聖怡教授率領下，經過30多年頑強拼搏與自主 創新，先後突破高精度機牀精密運動機構設計、光學元件亞納米全頻段誤差控制等核心關鍵技術，研製出一系列具有自主知識產權的磁流變、離子束拋光設備，打破了發達國家對超精密加工設備的技術封鎖，使我國成為繼美、德之後全面掌握高精度光學零件加工技術的國家。

據觀察者網查詢，我國正在研製的激光核聚變裝置需要大量的高精度、大口徑光學元件，要按期、保質、保量地製造這些光學元件，必須突破現有的工藝水平，採用高效的先進技術。傳統的連續拋光技術加工的大口徑光學零件進度能滿足工程要求，但存在加工工期長、對人的依賴性強的缺陷。

近年來，該校精密工程創新團隊在“極大規模集成電路製造裝備與成套工藝”國家重大科技專項二期項目和國家自然科學基金重大項目支持下，研製成功新一代離子束拋光機牀與數控光順拋光機牀，其最小可控材料去除量達到0.1納米。有關專家指出，這一自主創新成果可為“極大規模集成電路製造裝備與成套工藝”“高分 辨率對地觀測系統”等國家重大科技專項提供有力技術保障和裝備支撐，將直接促進相關領域關鍵技術突破，對於提升我國先進裝備製造水平具有重要意義。