上海科創，資本助力“吃螃蟹”

原標題: “上海造”平板顯示屏光刻機進入生產線，背後有個“幕後英雄” 上海科創，資本助力“吃螃蟹”

東方網8月23日消息：日前，“上海造”首台4.5代高分辨率平板顯示屏光刻機，在上海微電子裝備公司下線進入上海天馬用户生產線。這是繼先進封裝光刻機之後，上海集成電路裝備領域的又一次突破。而這背後離不開上海科技創業投資（集團）有限公司的資本助力。

去年8月18日，上海最早組建的風險投資公司上海科技投資公司與上海創業投資有限公司戰略重組成立上海科創集團，成為上海乃至全國最大的國有創業投資機構之一。目前，上海科創集團資產總額超過69億元，受託管理政府專項資金100億元，所涉的投資領域創造了近10萬個就業崗位。

上海科創集團負責人表示，聚焦上海戰略性新興產業，堅持引導性的定位，同時兼顧市場化原則，是科創集團作為國有投資基金的特色。特別是，在一些風險高、投入大的先導性產業，要發揮示範帶動效應，彌補市場的缺位。

13年前，國家科技部重大科技專項100納米高端光刻機研製任務落户上海。業界公認，高端光刻機制造難度巨大，號稱人類製造最精密的設備，全世界只有荷蘭ASML，日本Nikon、Canon具備該設備的製造能力。

上海微電子裝備副總經理賀躍進表示，當時考慮到光刻機是智能裝備最終要產業化，因此決定用公司的方式，而不是傳統科研機構研究後再產業化的路子。但，由於國內沒有任何參照物，而且存在失敗風險。

而上海科投，吃下了這隻“螃蟹”，成為新公司的發起人之一，當起了大股東。這一當，就是十幾年。如今，上海微電子裝備已經實現集成電路先進封裝光刻機、平板顯示光刻機、高亮度LED三個類型的產業化，封裝光刻機更是佔據國內市場份額的90%左右，一舉打破了國外的長期壟斷。

在集成電路領域的另一國家重大專項——極大規模集成電路製造中的等離子體刻蝕機，也鐫刻下了上海科創集團的身影。承擔這項歷史重任的中微半導體設備有限公司由上海創投參與發起設立。同樣，歷經十年培育，才迎來開花結果之日。如今，中微用於極大規模集成電路芯片製造前道的等離子體介質刻蝕設備已經實現量產，這款設備決定了集成電路的線寬和集成度，更決定了國內集成電路產業發展的高度。

上海科創集團也由此初步建立起圍繞集成電路等戰略性新興產業的投融資機制。集團負責人表示，未來將加大對“四新經濟”的投資，重點投資機器人、3D打印、智能傳感器等引領製造業發展趨勢的重點方向，智慧照明、移動醫療、車聯網等製造與服務相融合的先進方向，以及網絡視聽、互聯網金融等跨界融合催生的新型服務業態。