99.999999999%純度的電子級多晶硅，我國也能出口了！

【觀察者網 綜合報道】據《科技日報》6日報道，純度要求達到99.999999999％的電子級多晶硅終於量產。這標誌着我國半導體集成電路用硅料已經達到國際一流質量標準，也是我國多晶硅製造企業首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。

《科技日報》記者6日從江蘇鑫華半導體材料科技有限公司獲悉，經過一系列嚴格的驗證、檢測，近日一批集成電路用高純度硅料出口韓國，同時也向國內部分晶圓加工廠批量供貨。

電子級多晶硅材料是集成電路的關鍵基礎材料，過去中國市場上的集成電路用多晶硅材料基本完全依賴進口。電子級多晶硅是純度最高的多晶硅材料。

相對於太陽能級多晶硅99.9999％純度，電子級多晶硅的純度要求達到99.999999999％。5000噸的電子級多晶硅中總的雜質含量相當於一枚1元硬幣的重量。

據徐州發佈消息，江蘇鑫華半導體材料科技有限公司總經理田新表示，鑫華半導體研發團隊歷經317次電子級多晶硅生產試驗，用一年多時間，對629項技術、設備優化改進，以70%的國產設備，系統性解決了雜質釋放問題，實現了原料端徹底祛除和控制雜質，並且全球首創採用自動化無接觸硅料處理系統。

電子級多晶硅棒

鑫華半導體材料科技有限公司副總經理張曉東表示，中國是世界最大電子產品製造國，每年對集成電路器件及芯片需求巨大，但幾十年來基本依賴歐美日進口。鑫華電子級多晶硅的自主生產，標誌着我國電子級多晶硅突破海外多年技術封鎖，填補國家集成電路產業專項一項空白。

他説：“鑫華電子級多晶硅的投產，不僅將打破國外技術、市場壟斷，填補國內半導體級原材料生產的空白，鑫華公司也將成為繼美國Hemlock、德國Wacker之後全球第三大半導體硅材料生產商。”

2015年12月，鑫華半導體由國家集成電路產業投資基金聯手保利協鑫共同投資，建設國內首條5000噸半導體集成電路專用電子級多晶硅生產線。去年11月8日協鑫旗下鑫華半導體正式發佈電子級多晶硅產品。

鑫華半導體公司第一條生產線的產能為5000噸，可保證國內企業三至五年內電子級多晶硅不會缺貨，產品質量滿足40nm及以下極大規模集成電路用12英寸單晶製造需求。同時，還將規劃再上一條5000噸生產線，以更好地滿足國際國內市場。

《中國能源報》此前報道稱，我國電子級多晶硅的研製始於二十世紀五十年代，六十年代中期進入批量生產，至七十年代末改良西門子法的生產技術、工藝已臻成熟。

那時儘管生產規模小，設備簡陋，但因當時國內需求少，生產的產品基本能夠滿足國內需求。此後由於國內產量不足、質量不穩定等原因，我國開始大量進口電子級多晶硅。

從進口數據分析，2013年至2017年，我國多晶硅進口數量從80653噸逐年攀升至144000噸。2014年，國務院簽發了《國家集成電路產業發展推進綱要》，同時成立了國家集成電路產業投資基金，電子級多晶硅迎來重大利好。

從近十年的發展狀況來看，雖然多晶硅在我國得到長足發展，但高品質多晶硅仍然需要進口。進口數據中所有的分立器件、集成電路用多晶硅和高效光伏電池用多晶硅全部進口，國內高品質多晶硅缺口仍然巨大。

報道稱，有專家研判，國內電子級多晶硅的需求是4500噸/年。