中國DRAM該如何突圍?_風聞
半导体行业观察-半导体行业观察官方账号-专注观察全球半导体最新资讯、技术前沿、发展趋势。2019-09-19 17:13

本文由公眾號半導體行業觀察(ID:icbank)轉載自【芯思想】,作者:趙元闖。
2018年,全球DRAM市場規模為1000億美元,其中三星、SK海力士、美光三大巨頭市場佔有率超過90%,呈現寡頭壟斷態勢。時值三大DRAM供應商壟斷市場多年,價格飆升,居高不下;即使價格波動,比起以前DRAM價格一天崩跌30%,現在一季下不足10%。對系統廠商來説,真可謂天下苦秦久矣。
中國是一個半導體存儲器的消費大國,消費了全球接近50%的存儲器產能。但目前國內相關技術積累薄弱,自給能力基本為零,完全失去控制能力。《國家集成電路產業發展推進綱要》發佈後,在關鍵核心技術國產替代浪潮的推動下,中國大陸迎難而上,開啓對DRAM的戰略佈局,力爭在這一高端產業上有所作為。就國家層面來講,如何切入該行業,切入的力度和規模有多大,這需要有一個清晰的產業定位。
2016年立項的合肥長鑫已累計投入25億美元研發費用,並投入巨資建成大陸第一座12英寸DRAM存儲器芯片製造廠,技術和產品研發有序開展,並已持續投入晶圓超過15000片,目前其8GB LPDDR4產品經客户測試後,指標符合要求,預計年底量產;福建晉華通過和聯電的合作,本已取得了相關技術,但由於和美光的訴訟,遭遇美國禁運,目前處於設備維持運轉階段;紫光集團於2019年6月30日宣佈重啓DRAM計劃,組建DRAM事業羣,委任刁石京為DRAM事業羣董事長,高啓全(Charles Kau)為DRAM事業羣首席執行官(CEO),並於2019年8月27日和重慶市人民政府簽署合作協議,在重慶兩江新區發起設立紫光國芯集成電路股份有限公司,建設DRAM存儲芯片製造工廠。
由於高投入、高風險性、長期性和超大規模等行業特點,回顧國際上其他地區的發展歷史和經驗,發展DRAM存儲器產業一定是國家戰略。儘管DRAM產業發展之路必將佈滿荊棘,但不管如何,中國大陸必定要擁有自身的DRAM製造能力。
一、血腥的DRAM存儲產業
1966年,IBM公司托馬斯·沃森研究中心(Thomas Watson Research Center)的研究人員時年34歲的羅伯特·登納德(Robert Dennard)博士提出了用金屬氧化物半導體(MOS)晶體管,來製作存儲器芯片的設想,同年研發成功1T/1C結構(一個晶體管加一個電容)的DRAM,並在1968年獲得專利。
自1966年至今已經過去50年,DRAM市場累計創造了超過1萬億美元產值。企業間摻雜着你死我活的生死搏殺。美國、日本、德國、韓國、中國台灣的企業,懷揣鉅額資金,高高興興地衝殺進來,卻大都丟盔棄甲黯然離開。包括開創DRAM產業的三大巨頭在內的無數名震世界的產業巨頭轟然倒地;英特爾、德州儀器和IBM,也分別在1985年、1998年和1999年,悽慘地退出了DRAM市場。
DRAM存儲產業發展的道路充滿血腥味,大魚吃小魚是毫無商量的餘地。下面簡單回顧一下DRAM的血腥史。
全球DRAM廠商歷史變遷
2009年前的DRAM產業版圖仍是戰國紛爭時期,全球DRAM供應商近10家,每一家都在豪賭,拼命蓋廠擴充產能,然供需反轉之際,價格有如自由落體般直線下滑,歐洲唯一DRAM玩家奇夢達(Qimonda) 在 2009 年宣告破產,黯然離場;2012年,日本唯一DRAM供應商爾必達(Elpida),搞“假破產”遊戲,想逼迫債務銀行,最後變成“真倒閉”。
也許奇夢達和爾必達的破產倒閉種下了今日全球DRAM產業寡佔市場的原因。
1、美國篇
1969年位於加州的先進內存系統公司(Advanced Memory System Inc.)正式推出首款商業化1K DRAM,其首個客户是霍尼韋爾(Honeywell)。
1970年英特爾推出首款可大規模生產的1K DRAM芯片C1103,使得1bit只要1美分,從此開創了DRAM時代。1972年,C1103成為全球最暢銷的半導體芯片,基於此英特爾成為一家擁有1000名員工,年收入超過2000萬美元的公司;到1974年,英特爾佔據了全球82.9%的DRAM市場份額。
1971年德州儀器(TI)採用重新設計的3T1C結構,推出了2K DRAM產品,1973年推出成本更低、採用1T1C結構的4K DRAM,成為英特爾的強勁對手。
1969年從德州儀器離職的工程師創辦的莫斯泰克(Mostek)提出了CPU和DRAM集成的方案,並在1973年推出了針腳更少的4K DRAM,憑藉低成本,在內存市場取得優勢;1976年公司推出了採用雙層多晶硅柵工藝的MK4116,容量提高到16K,一舉擊敗英特爾,佔據了全球75%的市場份額,到1970年代後期,莫斯泰克一度佔據了全球DRAM市場85%的份額。
1978 年莫斯泰克的4名離職員工創立了美光,1981年自有晶圓廠開始投產64K DRAM。
1985年被DRAM折磨得遍體鱗傷的英特爾宣佈退出DRAM市場;德州儀器在1998年將存儲業務甩賣給美光後傷心地離開;1999年IBM將合資工廠出售給東芝後,悽慘地退出了DRAM市場。
進入2010年代,美光成為美國碩果僅存的一家存儲器公司。
2、日本篇
1970年代的王者當屬美國DRAM廠商無疑,但歷史的車輪滾滾向前,歷史的河流大浪淘沙,所以註定有一些東西遠遠地離我們而去。1980年的日本發力了,美國悲傷了。
1971年NEC公司推出了日本首個1K DRAM芯片,好像是緊追英特爾。但技術實力和產品性能與美國有着巨大差距,美國進入VLSI時代,日本還停留在LSI時代。
為攻破技術壁壘,1976年,由日本通產省牽頭,以日立(Hitachi)、三菱(Mitsubishi)、富士通(Fujitsu)、東芝(Toshiba)、NEC五大公司作為骨幹,聯合通產省的電氣技術實驗室(EIL)、日本工業技術研究院電子綜合研究所和計算機綜合研究所,組建“VLSI聯合研發體”,投資720 億日元(其中日本政府出資320億日元),攻堅超大規模集成電路DRAM的技術難關。1980年,日本VLSI聯合研發體宣告完成為期四年的“VLSI”項目,研發的主要成果包括各型電子束曝光裝置,採用紫外線、X射線、電子束的各型製版裝置、乾式蝕刻裝置等,各企業的技術整合,保證了DRAM量產良率高達80%,遠超美國的50%,構成了壓倒性的總體成本優勢,奠定了當時日本在DRAM市場的霸主地位。
於是,日本存儲企業趁勝追擊挑起價格戰,DRAM芯片從1981年的50美元降到1982年的5美元。1984年,日本DRAM產業進入技術爆發期,通產省電子所研製成功1M DRAM,三菱發佈4M DRAM的關鍵技術,日立開始採用1.5微米工藝生產DRAM,1986年東芝1M DRAM月產能超過100萬片。
日本廠商瘋狂衝擊美國市場,美國DRAM廠商招架不住節節敗退,1986年日本廠商在世界DRAM市場所佔的份額達到了80%。
由於未能把握消費級PC時代,加上美國限制,1990年代初日本DRAM達到頂峯後,市佔份額急速下滑,走向了衰落的開始。1999年,日立和NEC合併了他們的DRAM業務,成立了爾必達存儲器,富士通也從面向大型機的DRAM業務中撤出。2001年東芝將DRAM業務賣給了美光科技。2003年,三菱電機的DRAM業務被爾必達吸收。
隨着2012年爾必達的破產被美光收購,日本僅有的一家DRAM企業也不復存在。
3、韓國篇
進入90年代,存儲器市場的迅速增長,日美兩國的競爭,快速拉高了對技術、資金的要求。日本的勝出也讓韓國人明白,後發追趕者勢必要通過企業和政府的通力合作才能成功,否則單靠一個企業的力量將成為炮灰。
韓國聰明地借鑑了日本模式,舉全國力量發展核心技術。韓國政府在1975年公佈了扶持半導體產業的六年計劃,強調實現電子配件及半導體生產的本土化。這無疑為未來韓國半導體產業的自主發展奠定了堅實的基礎。
1986年10月韓國政府執行“VLSI共同開發技術計劃”,韓國政府出資,由韓國電子通信研究所牽頭,聯合三星、LG、現代三大集團以及韓國六所大學,聯合攻關DRAM的核心技術。隨後三年內,該計劃共投入1.1億美元,政府承擔57%的研發經費。
經由該計劃,韓國DRAM企業開始從仿製、研發走向自主創新。1983年在美光和CITRIX的支持下,三星完成64K DRAM研發,1984年量產,落後美國差不多10年;1988年三星完成4M DRAM研發,僅比日本晚6個月;1992年三星完成全球第一個64M DRAM研發;1994年三星將研發成本提升至9億美元,1996年三星完成全球第一個1GB DRAM(DDR2)研發。至此,韓國企業在存儲芯片領域一直處於世界領跑者地位。
在美國的幫助下,1992年,韓國三星超越日本NEC,首次成為世界第一大DRAM內存製造商,並在其後連續蟬聯了27年世界第一。
1999年韓國現代半導體與LG半導體合併,2001年從現代集團完成拆分,將公司名改為海力士(Hynix Semiconductor Inc);金融危機時,海力士陷入破產邊緣,好在韓國財團的幫助和中國無錫的無私支持,加上SK的金援,海力士活下來了,並於2012年更名SK海力士。
目前,韓國持續在存儲芯片領域發力,長期保持着世界第一存儲芯片生產大國的地位。目前全球三大存儲器公司,韓國獨佔兩席。
4、台灣篇
芯思想公眾號8月曾發佈《大陸存儲發展要避免重蹈台灣存儲產業失敗覆轍》一文,對台灣DRAM產業失敗的原因有個初淺的討論。
説到台灣的存儲器發展史,可以追溯到1983年。茂矽和德碁(宏碁和德州儀器合資)被看作是台灣存儲行業的起步標杆。
1990年,台灣啓動了“次微米制程技術發展五年計劃”,但由於台灣缺乏自主核心技術,只圖快進快出,靠購買技術授權、製程設備來快速擴充產能、賺快錢的經營模式。
回顧台灣DRAM產業三十年發展之路,從逐步放棄自主研發,到完全依賴外國企業技術授權,再到代工模式遭遇金融危機重創,加上各大DRAM企業的技術授權不同,且各有盤算,無法形成統一體,最終落得滿盤皆輸。
2007年全球爆發經濟危機,2013年茂德破產,力晶被迫轉型晶圓代工躲過破產命運,華亞和瑞晶被近出售給美光,台灣幾大玩家全軍覆沒,只留下南亞在苟延殘喘。
5、歐洲篇
歐洲的飛利浦、西門子和意法半導體都曾涉足DRAM產業,都是和美資合作,但命運各不相同。
西門子(Siemens)的DRAM合作伙伴包括IBM和摩托羅拉(Motorola),先後成立多個合資工廠生產DRAM;1999年分拆半導體部門成立英飛凌(Infineon);2006年英飛凌將存儲業務分拆成立奇夢達(Qimonda),2007年全球爆發經濟危機,2009年奇夢達破產。當年全球第二大存儲芯片公司僅僅存活了三年就灰飛煙散了。奇夢達雖然 已經成為過去,但是現在卻成了香勃勃,其專利可望成為中國存儲產業翻盤的利器。
飛利浦(Philips)在1994年與IBM合資設立 SubMicron Semiconductor Technologies GmbH,生產4M DRAM,並獲得IBM的16M DRAM技術授權。但在1998年IBM退出DRAM市場後,飛利浦及時退出了DRAM產業。
目前,只有三星電子、SK海力士和美光科技,佔據絕對壟斷地位,在DRAM市場呼風喚雨,數錢數到手抽筋。
二、中國發展DRAM恰逢其時****1、中國發展DRAM的儲備
1956年1月,中國政府提出“向科學進軍”,國務院制定科技發展12年規劃,根據國外發展電子器件的進程,提出了中國也要研究半導體科學,把半導體技術列為國家四大緊急措施之一。中國科學院應用物理所首先舉辦了半導體器件短期培訓班,請回國的半導體專家黃昆、吳錫九、黃敞、林蘭英、王守武、成眾志等講授半導體理論、晶體管制造技術和半導體線路;北京大學、復旦大學、吉林大學、廈門大學和南京大學聯合在北京大學開辦了半導體物理專業,共同培養第一批半導體人才,如包括中國科學院院士、北京大學教授王陽元,中國工程院院士、原華晶集團總工程師許居衍,原電子工業部總工程師俞忠鈺等。
1963年中央政府組建第四機械工業部,主管全國電子工業。此後,中國電子工業得到快速發展,上海和北京成為中國電子工業的南北兩大基地。
1975年,北京大學物理系半導體研究小組完成硅柵NMOS、硅柵PMOS、鋁柵NMOS三種技術方案,在109廠採用硅柵N溝道技術,生產出中國第一塊1K DRAM。比美國、日本要晚五年,但是比韓國、中國台灣要早。那時韓國、中國台灣根本就沒有電子工業科研基礎。
1978年中科院半導體所成功研製4K DRAM,1979年在109廠量產成功;1981年中科院半導體所研製成功16K DRAM(比韓國晚兩年);1985年中科院半導體所研製成功64K DRAM(比韓國晚一年);1993年無錫華晶製造出我國第一塊256K DRAM(比韓國晚七年)。
1991年成立的首鋼NEC,1995年開始採用6英寸1.2微米工藝生產4M DRAM(後來升級到16M);華虹NEC在1999年9月開始採用8英寸0.35微米工藝技術生產當時主流的64M DRAM內存芯片,由於市場環境惡化,2004年開始轉型晶圓代工,退出了DRAM產業。NEC在中國的兩大DRAM合資項目最終雖然以失敗告終,但是為中國培養了第一批半導體存儲器製造人才。
進入21世紀,中芯國際2004年建成在北京建設中國第一座12英寸晶圓廠(Fab4),2006年才大規模量產80納米工藝,為奇夢達、爾必達代工生產DRAM。2008年由於中芯國際業務調整,完全退出了DRAM存儲器業務,中國大陸也就完全退出了DRAM存儲器業務。
2006年,海力士與意法半導體合資的8英寸和12英寸產線正式投產DRAM,目前已經成為SK海力士在全球最大的DRAM生產基地。同時為中國培養了一批產線工程師。
2006年,武漢新芯成立,和中芯國際簽訂了託管協議,由中芯國際給予武漢新芯以包括生產技術和人才在內的援助。最初決定生產DRAM,孰料工廠還未完工,就遭遇全球DRAM價格崩盤。武漢新芯果斷放棄DRAM生產,而是轉向NOR閃存產品。2008年9月,武漢新芯牽手飛索半導體(Spansion)半導體。其後飛索半導體向武漢新芯轉移65nm、43nm、32nm相關生產工藝及技術,武漢新芯成為飛索半導體的重要生產基地,為其提供NOR Flash產品代工。2016年在長江存儲入主後,適時進行了DRAM的研發。
2009年被浪潮集團收購德國奇夢達西安設計公司成立西安華芯,保住了一個從事DRAM設計十年以上的工程師團隊;研發團隊擁有從產品立項、指標定義、電路設計、版圖設計到硅片、顆粒、內存條測試及售前售後技術支持等全方位技術積累,所開發DRAM產品工藝技術包括從110nm、90nm、80nm和70nm的溝槽技術到65nm、46nm、45nm和38nm的疊層技術;目前正在進行25nm代的產品開發。現在成為紫光存儲的一部分。
2015年8月武嶽峯創投收購利基型存儲IC設計公司美商矽成(ISSI),矽成產品以中低密度DRAM、EEPROM、SRAM為主,應用範疇多在汽車、工業、醫療、網路、行動通訊、電子消費產品,矽成主要致力於95納米與65納米產品設計與研發,是存儲芯片國產替代進程中競爭力較強的企業。即將併入北京君正。
2、中國集成電路技術的發展
我國目前已經具備技術和人才基礎來進行DRAM存儲器技術的開發。我國現在雖然沒有DRAM產業,因為有過DRAM大規模代工的經歷,有工藝基礎,儲備了相當多的製造基礎人才。
更為重要的是現在DRAM的技術落後於邏輯工藝。以往都是DRAM帶領工藝的進步,邏輯再跟上。現在台積電已經開始量產5nm產品,而DRAM工藝還停留在1Xnm階段。
目前國內中芯國際和華力微已經掌握了2Xnm和1Xnm的量產技術,掌握了CMOS在1Xnm的器件工藝技術及先進金屬互連技術,已經和目前最先進的DRAM工藝相當。
更主要的是中科院微電子所、清華大學、北京大學都有相當的DRAM存儲技術和工藝的積累。
3、人才問題
進行DRAM開發,只需攻克存儲器電容的形成技術。由於奇夢達的破產,爾必達、華亞、瑞晶併入美光,加上台灣DRAM產業的萎縮,國際上有相當可用的人才進行該項技術突破。
三、中國發展存儲的建議考慮目前國際、國內存儲器行業的現狀,中國應該以國內巨大的市場需求為基礎,以產品為突破,以建立IDM企業為目標,統籌規劃,堅持長期投資,直到成功。
**中國進入存儲器產業的考量有三,**一是市場規模龐大,二是沒有市場價格發言權,三是信息安全戰略。三個因素,解決方案不一。但如果要想根本解決信息安全,中國只有實施技術創新、自主研發、自主生產的國家戰略。
**在戰略層面,要中央統籌,整合各方資源。**首先大力招募高端技術人才,通過技術授權或者技術轉移,籌建一條成熟的DRAM生產線(比如30-50nm工藝),在引進、吸收現有的成熟技術基礎上,集成創新實現自主開發,逐步追趕先進工藝,直到超越。假如不能取得技術授權引進,自主開發也完全可行,只是所需時間會更長些。
其次積極佈局新型存儲器技術研究和開發,對目前的幾個新技術包括RRAM、MRAM、PRAM等均應投入資金和人才研究,而不要停留在討論那種技術未來可能勝出。只要能量產,總有用武之地。
**在資金層面,必需堅持持續、長期、大量的投資。**如果我國定位於超越第一集團,扮演市場的領導者角色,需要達到30%左右的市場份額。對於DRAM存儲器來説,目前的全球月產能接近200萬片,也就是需要擁有6條月產10萬片12英寸晶圓生產線。實現月產能60萬片,先進DRAM晶圓廠的投資費用估計在1000億美元左右,考慮現有技術的授權和吸收,生產技術的更新換代,新技術的研究和開發,總投資應該接近1500億美元,並且這個投資是連續的、長期的。
**在政策方面,由政府引導積極推進國產化戰略,加大信息產業整機和芯片的國產化率,真正實現安全可控。**通過税收調控,引導和鼓勵存儲器產業的投融資,構建良好的產業環境。
**在市場方面,國內的市場非常巨大,每年本地市場最少要消耗300億美元的DRAM芯片。**在如此巨大的市場推動下,將能很好的發揮上下游的優勢,改變目前DRAM國外壟斷造成的被動局面。
只要肯登攀,事上無難事。希望國內存儲界不要只是打嘴仗,要沉下心來,加強自主研發,走出一條中國自主的DRAM發展之路。