傳台積電將購入18台EUV光刻機 7nmEUV最快3月量產

（觀察者網訊）據台灣科技類網站2月12日消息，為延續7納米制程領先優勢，台積電支持極紫外光(EUV)微影技術的7納米加強版(7+)製程將按既定時間於3月底正式量產，而全程採用EUV技術的5納米制程也將在2019年第2季進入風險試產。

據瞭解，獨家提供EUV設備的ASML，先前預估2019年EUV機台設備銷售總量將達30台，當中台積電就砸下重金訂購18台，顯見7納米、5納米EUV製程推進相當順利。台積電以強勁技術實力與龐大資本支出已將競爭門坎築高，與三星電子實力差距可望在EUV時代中快速拉開。

台積電 圖片來自台媒

隨着GlobalFoundries(GF)於2018年8月宣佈擱置百億美元投資的7納米制程計劃，7納米以下先進製程技術戰場形成台積電、三星與英特爾三雄對戰情勢。

而單就代工來看，英特爾因苦陷10納米制程延遲困境，已無暇顧及代工事業，目前幾已是淡出晶圓代工市場狀態，因此，7納米以下晶圓代工戰局已是三星、台積電雙雄對決戰局，不過隨着台積電7納米/5納米EUV製程進展順利，而三星依舊未見重量級客户大單落袋，台積電在7納米以下先進製程領先幅度正持續擴大中。

半導體設備業者表示，截至目前為止，台積電已於2018年4月搶先進入7納米時代，並囊括蘋果(Apple)、高通(Qualcomm)、華為海思、超威(AMD)、賽靈思(Xilinx)等國際大廠大單，且支持EUV技術的7+製程應會在3月底正式量產。

台積電先進製程持續按計劃進行，據瞭解，7納米EUV製程將在2019年3月底量產，7納米加上7納米EUV製程，估計至2019年底Tape out將超過100個，2019年下半7納米貢獻將增速 ，受惠手機新品出貨進入旺季及高速運算(HPC)產品開始小量出貨，7納米制程全年營收比重將可達25%，較2017年9%大幅提升，不過，7納米EUV製程比重相當低。

據瞭解，獨家提供要價超過1億美元EUV設備系統的ASML，先前預估2019年EUV機台設備銷售總量將達30台，當中台積電就砸下重金訂購18台，顯見7納米5納米EUV製程推進相當順利，其餘12台訂單客户則是英特爾、三星等DRAM客户，而中芯也在2018年下單1台。