從納米“照相機”到納米“攝像機” 國產掃描電鏡製造取得進展

對材料微觀結構的觀測一般離不開“微觀相機”，即掃描電子顯微鏡。由此，在材料、生物、醫學、冶金、化學和半導體等研究領域迫切需要這種“利器”。然而，目前我國科研與工業部門所用的掃描電鏡嚴重依賴進口，每年花費上億美元從美國、日本、德國和捷克斯洛伐克等國採購掃描電鏡。國產掃描電鏡也都集中在低端產品領域。

記者近日從北京經濟技術開發區獲悉，由園區孵化的創新企業聚束科技（北京）有限公司（以下簡稱聚束科技）自主研發的高通量（場發射）掃描電子顯微鏡，以實物通電工作狀態展示高端電鏡的風采，破解了國產掃描電鏡“弱視”問題。

“該系統可對工程級材料進行整體納米晶粒、成分分佈統計等電鏡微區分析，視頻級納米分析能力，使掃描電鏡從傳統意義的納米‘照相機’躍變為納米‘攝像機’。”聚束科技總經理何偉告訴記者。一位業內資深人士表示，“雖然市場還不是特別大，但它是多個科研領域用於科學分析的關鍵儀器設備”。

據瞭解，目前領航者掃描電鏡在國內裝機數量達到10台（套），並出口海外，實現在國內重大科研項目上的示範性應用。下一步，掃描電鏡設備還將被納入一些知名半導體芯片製造商的實驗室裏，協助進行開發分析，助力高端製造發展。

（記者華凌 通訊員方針）