研發自有芯片，上海電子廠房版圖繼續擴容，今年再添兩席_風聞

來源：文匯報  2020-4-29

▲中芯國際12英寸芯片SN1項目

芯片雖小，卻發揮着至關重要的作用，大到國防武器裝備，小到老百姓日常使用的家電，都要依靠芯片發揮作用。

基於芯片產業的發展現狀及戰略地位，我國一直在不斷加大支持力度，相繼出台《國家集成電路產業發展推進綱要》《中國製造2025》等重量級文件，指導集成電路產業發展。宏偉目標業已敲定：2020年我國芯片自給率要達到40%；2025年要達到50%。

根據《上海促進電子信息製造業發展“十三五”規劃》，力爭2020年集成電路產業規模達到2000億元，將通過提升產業發展戰略，塑造設計、製造、裝備材料三大支柱，拓展產業發展模式，打造IDM模式的產業第三極等發展手段，推進集成電路產業發展。

要打勝這場硬仗，策略和糧草一個都不能少；從糧草看，主要是人才，以及供人才用武之地的實驗室和製造車間。

▲中芯國際12英寸芯片SN1項目

在上海，儲“糧草”的洪荒之力未曾停歇。浦東新區張江高科技園區，上海市重大工程中芯國際12英寸芯片SN1&SN2廠房建設項目，打響收官之戰，預計今年8月全面竣工。施工方上海寶冶工業工程公司中芯國際（上海）工程項目總工趙斌今天介紹，該項目自2017年承建，主要包括SN1生產廠房、CU8動力車間和SO8生產調度及研發樓三大單體建築物及一些配套設施，建築總面積約40萬平方米，為全球最大電子廠房之一。

該項目是打破國外壟斷、實現中國強芯夢的國家戰略投資項目，項目從規劃、設計、建設到生產運營，得到了國家及上海市政府的高度重視。其投產後，工藝節點可覆蓋14納米-7納米。目前，14納米級芯片已成功量產，代表着中國芯片製造水平已邁入一個新的時代。全部滿產後，一條生產線規模可達每月7萬片。

相距40公里外，又一處電子廠房處於如酣建設中。浦東新區合慶鎮凌空北路，上海天馬通用廠房建設二期工程，屬於面板類電子廠房。項目投產後，產品主要涵蓋手機、手錶、醫療，VR、車載等顯示屏。目前建築的主體結構封頂已經全部完成，正在進行二次結構及局部裝飾裝修施工，今年7月底竣工。

▲上海天馬通用廠房建設二期工程

項目經理肖紅廣介紹，本工程是繼2013年上海天馬投建國內第一條5.5代AMOLED量產線項目以來，雙方再度合作。具體為通用廠房建設項目一期工程的擴建，佔地約2萬平方米，總建築面積約4.3萬平方米，包含主廠房1-2、氫氣站、氨氣站、化學品庫四個單體，施工內容覆蓋建築、結構、裝飾裝修、電氣、給排水、暖通、消防及室外總體工程等內容。

高科技電子廠房的背後，凸顯的是尖端建造工藝，以中國建造助力中國製造的雄偉歷程。以芯片製造為代表的電子廠房，不同於一般的鋼筋混凝土建築，在層高、地面平整度、屋面鋼結構跨度、結構形式等方面都有頗高要求。更值得一提的是，芯片需要在無塵環境下製造出來，司空見慣的微小顆粒物都可能是致命一擊。

潔淨程度，由空氣潔淨度等級來界定。上海寶冶工業工程公司相關負責人介紹，這個概念是指每立方米空氣中含有大於等於粒徑為0.1-0.5微米粒子的個數來限定，潔淨度等級分為1級-9級。在工程建設中，建設者們發揚蹈厲，突破了一個個建造難題。潔淨廠房分內外兩層全封閉結構，內部採用潔淨板圍封，對於潔淨度更高要求的外部牆體，一般採用鋼筋砼牆體及密閉夾芯板牆體，屋面採用鋼筋砼結構及密閉壓型板結構。潔淨室要依靠空氣循環流動保持潔淨度，因此在流動過程中，採用高效過濾器（FFU）進行空氣淨化。同時，施工時對牆體和屋面的裂縫控制極為嚴格，以克服電子廠房對密封性的嚴苛條件。