日企大舉攻堅EUV光刻!砸90億力奪半導體設備高地_風聞
中国人的上帝就是自己-数据显示:我是天才的可能性是99.74%2020-07-13 23:19
芯東西(ID:aichip001)編 | 董温淑
芯東西7月13日消息,要想製造5nm及更先進芯片,離不開EUV(極紫外光)光刻技術,目前多家日本芯片設備製造商正積極爭奪EUV適用的製造設備市場份額。
2020財年,全球第三大半導體設備製造商東京電子(Tokyo Electron)撥出1350億日元(約合87.8億人民幣)用於EUV高端設備研發,這是東京電子本財年最大一筆研發支出。作為全球唯一一家EUV適用的芯片檢測設備製造商,日本的Lasertec已獲得658億日元(約合43.4億人民幣)的訂單。
一、EUV技術將為芯片製造設備市場帶來近4000億收入
芯片加工精度取決於光刻機光線的波長,光線波長越小,芯片精度越高。隨着摩爾定律發展,芯片製造邁進10nm節點,波長13.4nm的EUV(極紫外光)就成為唯一的選擇。
據《日本經濟新聞》報道,EUV技術每年能夠為芯片製造設備市場帶來的的價值超過6萬億日元(約合565億美元、3970億人民幣)。
目前,荷蘭光刻機製造商ASML在光刻機市場中佔據主導地位,也是唯一能生產EUV光刻機的廠商。台積電、三星電子等全球領先的芯片製造商從2019年開始用ASML生產的EUV光刻機生產芯片。
另外,5G和其他先進技術的發展也導致高端芯片需求量增長,進一步驅動着EUV市場的發展。
在這一風口下,芯片設備製造商正努力開發與EUV光刻技術配套的其他設備。日本廠商成為這一領域的活躍者,正加大對EUV光刻檢測設備、EUV光源設備的投入。
二、砸錢研發?贏訂單?日本玩家看好EUV市場
東京電子是全球第三大半導體設備製造商,主要產品是光阻塗布及顯影系統(coater/developer )。在適用於EUV的大規模生產用光阻塗布及顯影系統市場中,東京電子佔據了全部市場份額。
2020財年,東京電子計劃投入1350億日元(約合12.5億美元、87.8億人民幣)用於EUV設備的研發,該研發項目將於2020年3月31日結束。另外,東京電子計劃拿出今年合併銷售額的10%(預計為1.28萬億日元,約合843.9億人民幣),用於鞏固其在EUV設備領域的前沿地位。
東京電子總裁河井俊樹説:“如果EUV得到廣泛應用,對於高端設備的需求將會增加。”
另一家日本半導體設備公司Lasertec憑藉芯片檢測設備從EUV技術風口中獲利。從去年7月至今年3月,Lasertec贏得價值658億日元(約合43.4億人民幣)的EUV適用檢測設備訂單,訂單額比去年同期增長2.2倍,預計該設備的訂單將佔據Lasertec全年訂單的三分之二。
Lasertec公司位於日本橫濱,其產品能夠在基於EUV技術的芯片生產過程中進行早期測試。目前,Lasertec是該領域唯一一家製造商。
三、日本EUV光源廠商擬打“翻身仗”
日本企業之間的競爭也在加劇。在電子束掩膜光刻設備市場,東芝集團旗下的NuFlare Technology、日本電子(JEOL)、 奧地利IMS Nanofabrication形成一個聯盟,正在集中開發能夠發射26萬束激光的“多光束”設備。
為了防止被全球最大的光掩膜板製造商豪雅(Hoya)收購,今年一月份起,東芝加強對NuFlare Technology的控制,向後者增派25名工程師及其他管理者,以期在2020財年實現下一代EUV適用設備出貨。
在EUV技術出現之前,日本建築機械製造商Komatsu旗下子公司Gigaphoton,與Cymer並稱為全球前兩大曝光機用光源製造商。2013年,ASML收購了Cymer,Gigaphoton因此在曝光機用光源市場失去優勢。
近期,Gigaphoton計劃通過開發新的光源部件奪回市場份額,並擬在2022年ASML發佈新一代EUV光刻機之前完成這一過程。
結語:EUV技術將加速芯片設備製造市場洗牌
根據國際半導體和材料協會(SEMI)和日本半導體設備協會的數據,在過去20年間,日本芯片設備製造商保持着30%的市場份額,2019年這一數據為31.3%。
日本的尼康和佳能一度主導着全球光刻機市場,但從2007年起被荷蘭的ASML徹底超越,隨後放棄了對EUV技術的研發。
近期,隨着市場對先進製程芯片的需求加大,EUV技術隨之迎來風口。東京電子等日本芯片製造設備廠商正積極佈局,以期在新的市場格局中佔據有利地位。Lasertec公司則從EUV風口中獲利,其EUV適用的芯片檢測設備大賣。
作為突破10nm製程節點必不可少的技術,EUV或將成為驅動芯片設備市場變化的一個關鍵因素。
目前,在芯片設備製造市場中,“贏者通吃”的趨勢正越發強勁,製造過程中的挑戰也日益增多。由EUV技術引發的新一代產品變革,將加速削減芯片設備製造商的數量。
文章來源:Nikkei Asian Review