長春光機所1.5米掃描干涉場曝光系統通過驗收，對高端光刻等領域具有重大的戰略意義_風聞

2020年8月24-25日，國家自然科學基金委員會信息學部在長春組織專家對國家自然科學基金國家重大科研儀器設備研製專項“1.5米掃描干涉場曝光系統”進行了項目驗收。 

　　會議成立了由中國計量科學研究院李天初院士擔任組長的驗收專家組，下設儀器測試專家小組，技術檔案專家小組和財務專家小組。8月24日，驗收專家組開展了儀器現場測試，並進行了技術檔案和財務驗收工作。 

項目驗收會驗收專家組會議 

　　8月25日，國家自然科學基金委信息科學部常務副主任張兆田主持了項目的驗收評審會。國家自然科學基金委副主任王承文，項目依託單位長春光機所所長賈平，中科院條件保障與財務局局長鄭曉年分別致辭，肯定了項目組“十年磨一劍”攻堅克難的精神和兢兢業業的付出，強調了儀器設備在科學研究、技術創新以及科技強國建設中的重要地位，並希望長春光機所充分發揮好國家重大科研儀器設備的重要作用。 

　　專家組聽取了項目負責人巴音賀希格研究員的研製項目工作報告，項目監理組朱文彬研究員的項目監理報告，驗收專家組副組長唐玉國研究員的儀器技術測試報告，技術檔案專家小組組長石慧敏教授的檔案驗收意見報告和財務驗收專家小組組長高蓮高級會計師的財務驗收意見報告。驗收專家組對儀器技術指標進行了現場實地考察和儀器測試,對項目技術文件檔案及歸檔情況、相關賬務報告等進行了審核。經質詢和討論，一致同意項目通過驗收。 

巴音賀希格研究員彙報項目完成情況 

　　專家組認為，項目組全面完成了項目的研製任務，成功研製出1.5米掃描干涉場曝光系統，該儀器的各項工作性能均達到或超過了任務書指標；項目管理文件和技術文檔記錄全面，內容真實可靠，檔案立卷符合規範要求；項目資金使用符合管理辦法要求；項目執行期間，圍繞單體大尺寸全息光柵製作的一系列核心物理和技術問題開展前沿探索和技術攻關，取得了系列重要研究成果、技術創新和突破。 

　　專項研製的儀器設備包括一台1.5米掃描干涉場曝光系統及四台製作全息光柵所需的輔助工藝設備。該項目主要面向高能拍瓦激光輸出技術、激光慣性約束核聚變研究及高端光刻機產業等戰略高科技領域對大面積全息光柵的迫切需求，研製了1.5米掃描干涉場曝光系統，其目標是具備以步進掃描多線曝光方式製作500mm×1500mm全息光柵的能力。經過7年的攻關，項目組通過解決和突破長程重載工作台超精密定位、曝光干涉場超精密測量及相位鎖定等十幾項基礎問題和關鍵技術，研製出了擁有製作最大面積650mm×1700mm單體無拼縫全息光柵能力的掃描干涉場曝光系統。該項目的順利實施與驗收，標誌着我國具備了獨立製作米級單體無拼縫全息光柵的能力，打破了由國外長期壟斷的局面，對高能激光、可控核聚變、高端光刻等領域的技術與產業推進具有重大的戰略意義。

　　驗收會上，與會領導和項目驗收專家組肯定了項目組在大型科研儀器研製方面取得的豐碩成果，並表示該儀器多項技術指標達到國際領先水平。項目負責人巴音賀希格表示，項目的驗收是一個新的起點，項目組會繼續刻苦鑽研、攻堅克難，不斷推進項目的科技成果轉化，為國家科技進步和相關領域事業的發展貢獻力量。 

項目驗收會會議代表合影