荷蘭光刻機抵達深圳廠，中芯國際：常規設備導入，非EUV

（文/觀察者網 一鳴）3月6日下午，就中芯國際深圳廠區到貨一台荷蘭進口大型光刻機一事，該公司今天向觀察者網證實：屬常規設備導入，並非外界所關心的極紫外光刻機（EUV）。

值得一提的是，今天下午2時30分左右，中芯國際港股突然拉昇，股價翻紅後一度漲逾3%。

據中芯國際官網介紹，其深圳廠區位於深圳市坪山區，一期200mm（8英寸）芯片代工廠可提供從0.35μm到90nm的晶圓製程服務。“深圳廠的成功擴產能夠支持更多200mm產能需求，並滿足日益增長的客户及市場的需求”。

另外，該公司總部位於上海張江高科技園區，在本地建有一座200mm芯片廠及一座300mm芯片廠，分別提供0.35μm到90nm，45/40nm到28nm的製程技術服務。

此前《羊城晚報》報道，3月4日，中芯國際從荷蘭進口的一台大型光刻機順利通過出口加工區場站兩道閘口進入廠區。報道指出，這台機器主要用於企業復工復產後的生產線擴容。

報道援引中芯國際公司關務經理羅榮慧話語稱，生產線擴容後全年預計可為企業增加10%左右的營收。

另外，根據中芯國際近期發佈的公告，其已經花費17億美元分別向泛林團體、應用材料、以及東京電子購買半導體設備。

其中，向泛林團體發出的購買單總金額約6億美元；應用材料購買單的總金額為5.43億美元，東京電子購買單總金額應用材料購買單的總代價為5.43億美元。

2018年5月，中芯國際曾向荷蘭阿斯麥爾（ASML）訂購了一台最新型的EUV光刻機，價值高達1.5億美元，原計劃在2019年初交付。

不過，由於美國方面阻擾，這項交易至今仍未完成。

（編輯：尹哲）

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