“光刻機第一股”華卓精科衝刺科創板

（文/觀察者網 呂棟）在新三板摘牌1年半後，華卓精科開始衝刺科創板。

日前，這家被市場稱作“光刻機第一股”的廠商，正式向上交所提交招股書並獲受理。雖然不生產光刻機整機，但其實控人、清華大學教授朱煜透露，該公司生產的光刻機核心子系統——雙工件台打破了ASML技術壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件台核心技術的公司。

不過，目前華卓精科的光刻機雙工件台僅有上海微電子一家客户，並且該產品仍處於小批量定製生產階段，尚未實現規模化量產。同時，其晶圓級鍵合設備、激光退火設備等產品還與上海微電子存在競爭。

2017年-2019年，華卓精科營收和淨利呈逐年增長態勢，但其同期收到的政府補助要遠大於其營收規模，其中2019年收到的政府補助是其當年淨利潤的16倍。除此之外，招股書中還透露，其融資渠道較為單一，難以滿足該公司快速擴張的需求。

上海微電子光刻機產品

核心產品僅一家客户

雖然被譽為A股“光刻機第一股”，但華卓精科並不能直接生產光刻機整機，其主要產品為光刻機雙工件台、超精密測控裝備及關鍵零部件等，而工件台、投影物鏡和光源是光刻機的三大核心子系統，其中工件台成本佔到整個光刻機成本的10%-20%。

觀察者網梳理公開資料發現，在2000年之前，光刻設備只有一個工件台，晶圓片的對準與曝光流程都在上面完成。直到2001年，荷蘭ASML推出Twinscan雙工件台系統，使光刻機能在一個工件台進行曝光晶圓片，同時在另外一個工作台進行預對準工作，生產效率和精度得到大幅提升。

值得注意的是，雖然雙工件台系統僅是增加一個工件台，但技術難度卻不容小覷，對工件台轉移速度和精度有非常高的要求。此前該產品技術被ASML一家壟斷，直到2016年才被清華大學攻克。

當年4月28日，由清華大學機械工程系教授朱煜擔任負責人的研發團隊，歷經5年時間研發的光刻機雙工件台系統樣機，通過國家科技重大專項“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”（下稱：02專項）實施管理辦公室的項目驗收。而朱煜本人正是華卓精科的實際控制人。

2018年5月，朱煜在接受華璋資本調研時表示，其生產的雙工件台打破ASML在工件台上的技術壟斷，是世界上第二家掌握雙工件台核心技術的公司，而且在全球能單獨供應工件台的也只有華卓精科。

光刻機雙工件台  圖片來源：清華大學機械工程系官網

在招股書中，華卓精科透露，作為國內首家可自主研發並實現商業化生產的光刻機雙工件台供應商，其為上海微電子提供光刻機雙工件台，並長期保持良好的合作關係，共同進行IC前道光刻機核心技術的研發和IC前道光刻機產品的生產，佔據了中國商用光刻機雙工件台的主要市場份額。

但是，上海微電子也是華卓精科光刻機雙工件台產品的唯一客户。

目前，世界上主要的光刻機生產商包括ASML、尼康、佳能等公司。

其中，尼康和佳能採用In House‖生產模式，即光刻機的主要子系統均由整機廠商研發和生產；ASML早期採用Out House‖生產模式，僅負責整機的設計和子系統的需求定義，各個子系統均由第三方廠商進行研發和生產。2010年後，隨着ASML逐步成為光刻機市場霸主，其開始自行設計工件台。

並且，無論採取何種模式研發和生產工件台，上述整機廠商使用的工件台均不單獨對外銷售。因此，前述機構在調研報告中也提到，華卓精科也是上海微電子唯一的光刻機工件台供應商。

招股書截圖

華卓精科披露，目前其光刻機雙工件台產品仍處於小批量定製生產階段，尚未實現規模化量產。

該公司針對國產高端IC前道光刻機的需求推出了DWS和DWSi兩種系列的雙工件台，前者主要適用於乾式步進式掃描光刻機，可用於65nm及以上工藝節點，目前已向上海微電子完成交付；後者適用於浸沒式光刻機，可用45nm及以下工藝節點，目前仍處於研發階段。

談及光刻機工件台的價格，朱煜曾透露，乾式的雙工件台約2000萬元，浸沒式的約6000萬元。

有業內人士分析指出，華卓精科的雙工件台技術雖然實現從0到1的突破，但是與國外還有一些差距，目前國際先進水平的雙工件台技術已運用於7nm，甚至5nm光刻機的生產製造。

而華卓精科光刻機雙工件台業務近年來波動也較大。2017-2019年，該產品營收分別為1521萬元、795萬元和0萬元，佔主營業務收入比重分別為28.12%、9.28%和0%。

該公司坦言，若其研發的光刻機雙工件台因技術或客户需求等原因導致產業化不及預期，則可能對其未來該產品銷售收入分別為經營業績造成不利影響。

除此之外，華卓精科還需要面對另一個不確定因素：其產品和重要客户存在一定競爭。

招股書披露，其以光刻機雙工件台的超精密測控技術為基礎，開發了晶圓級鍵合設備、激光退火設備等整機產品。而其光刻機雙工件台的唯一客户上海微電子，也是後兩大產品的主要供應商。

招股書截圖

研發投入依賴政府補助

2012年4月，華卓精科由清華IC裝備團隊在清華大學及其下屬“北京-清華工業技術研究院”和“02專項”支持下創立，初衷是將清華大學在“02專項”中積累的尖端技術落地產業化。

在本次衝刺科創板之前，華卓精科曾於2015年在新三板掛牌，並於2019年2月摘牌。

招股書中披露，本次發行前，因與部分股東保持一致行動關係，清華大學教授、國家02專項技術副總師朱煜實際持股比例合計為54.23%，為華卓精科實際控制人，對其生產經營活動具有重大決策權。

華卓精科表示，控股股東能夠通過行使其表決權對其經營活動、重大人事任免以及財務決策等方面產生重大影響，可能會形成有利於控股股東但有損於該公司及其他中小股東的決策，從而存在侵害該公司利益、其他中小股東和社會公眾投資者利益的風險。

招股書截圖

財務方面，2017年-2019年，華卓精科營收分別為5410.22萬元、8570.92萬元和1.21億元；歸母淨利潤分別為1253.21萬元、1512.36萬元和2087.24萬元，呈逐年增長態勢。

不過，值得注意的是，華卓精科同期收到的政府補助要遠遠超過其營收規模，三年分別為6936.83萬元、1.39億元和3.2億元。

招股書中提到，為鼓勵集成電路行業發展，中央財政給予大力支持。如果未來其無法繼續享受上述政府補助，將影響該公司的技術研發投入，影響其維持技術先進性，進而可能影響其經營活動。

華卓精科表示，其所在的集成電路設備行業為資金密集型行業，前期研發投入大。2017年-2019年，其研發投入佔營收的比例分別為30.75%、96.33%、117.24%。

但其也坦言，為保持競爭優勢，該公司在技術開發、產品升級、業務拓展和人力資源等方面都需要投入大量的資金，而其融資渠道較為單一，難以滿足該公司快速擴張的需求。

招股書中還提到，雖然近年來中國半導體設備企業發展迅速，但全球半導體設備行業仍由歐美及日韓傳統廠商主導，華卓精科與行業龍頭企業在品牌知名度和影響力等方面仍有一定差距，這將制約其產品銷售和市場拓展的效果。

招股書截圖

（編輯：尹哲）

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