“光刻機第一股”華卓精科衝擊科創板遇阻，專利背靠清華，商業化之路道阻且艱_風聞

上交所科創板上市委員會2021年第51次審議會議於29日上午召開，審議結果顯示，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科”）首發被暫緩審議。這是今年上會遭暫緩審議的第7家IPO企業。

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被譽為國產光刻機“第一股”的華卓精科，雖然不生產光刻機整機，但華卓精科生產的光刻機核心子系統雙工件台，是除荷蘭ASML以外全球唯一掌握光刻機雙工件台技術的。

華卓精科本次擬發行股票不超過3200萬股，募集資金約7.35億元，將用於半導體裝備關鍵零部件研發製造項目、超精密測控產品長三角創新與研發中心建設、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發項目等。

華卓精科成立於2012年，以超精密測控技術為基礎，研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機並提供相關技術開發服務，其中超精密測控設備部件產品包括精密運動系統、光刻機雙工件台模塊、靜電卡盤和隔振器等，整機產品包括晶圓級鍵合設備、激光退火設備等。應用領域覆蓋集成電路製造、超精密製造、光學、醫療、3C製造等行業。

華卓精科主要產品包括精密運動系統、光刻機雙工件台模塊、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設備部件以及晶圓級鍵合設備、激光退火設備等超精密測控設備整機，以及上述部分主要產品的技術開發服務。

股權結構方面，朱煜為華卓精科董事、核心技術人員、首席科學家，朱煜實際控制公司股份合計54.23%。朱煜為華卓精科控股股東、實際控制人。1965年出生的朱煜2001年畢業於中國礦業大學，博士學歷；2004年10月至今任清華大學教授。曾在北方華創獨董，目前兼任芯源微獨董等職務。

華卓精科的掌舵者，是一位60後清華教授——朱煜。1979年，14歲的朱煜考上了北京師範大學，18歲在中國礦業大學擔任講師。2001年，朱煜到清華大學進修博士後，開始了有關光刻機的研究工作。隨後十餘年間，他一邊在清華任教，一邊帶領着團隊一納米一納米地攻克技術難關，期間多次面臨經費緊張的囧境。2012年，朱煜帶着團隊走出象牙塔，成立了華卓精科。 9年磨一劍。如今華卓精科生產的光刻機雙工件台，打破了荷蘭 ASML公司在光刻機工件台上的技術壟斷，成為世界唯二掌握雙工件台核心技術的公司。站在背後的投資方，也具有濃厚的清華色彩——種子輪投資方且最大機構股東水木創投是清華大學下設的產業化投資管理平台。

雖然被譽為A股“光刻機第一股”，但華卓精科並不能直接生產光刻機整機，其主要產品為光刻機雙工件台、超精密測控裝備及關鍵零部件等，而工件台、投影物鏡和光源是光刻機的三大核心子系統，其中工件台成本佔到整個光刻機成本的10%-20%。

華卓精科透露，作為國內首家可自主研發並實現商業化生產的光刻機雙工件台供應商，其為上海微電子提供光刻機雙工件台，並長期保持良好的合作關係，共同進行IC前道光刻機核心技術的研發和IC前道光刻機產品的生產，佔據了中國商用光刻機雙工件台的主要市場份額。

目前華卓精科的光刻機雙工件台僅有上海微電子一家客户，並且該產品仍處於小批量定製生產階段，尚未實現規模化量產。同時，其晶圓級鍵合設備、激光退火設備等產品還與上海微電子存在競爭。

據瞭解，全球光刻機市場主要由境外廠商主導，中國光刻機市場仍處於起步階段。光刻機工件台是光刻機的核心子系統之一，國際主要光刻機整機生產廠商為ASML、尼康、佳能，前述三家廠商合計市場份額超過90%。公司向這三家銷售光刻機雙工件台的機會較小。上海微電子在光刻設備領域代表國內最先進的技術，是國內領先的半導體設備廠商。

華卓精科表示，目前公司光刻機雙工件台產品客户單一。光刻機雙工件台模塊及技術開發客户僅有上海微電子，且目前國內客户僅有上海微電子有該類產品採購需求，公司光刻機雙工件台模塊及技術開發銷售對其具有依賴性，2018年、2020年實現收入795.00萬元、1737.74萬元。另外，目前華卓精科DWS系列光刻機雙工件台累計發貨4台，目前仍處於與上海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過上海微電子最終驗收。

業績方面，2018年-2020年，華卓精科營收分別為8570.92萬元、1.21億元和1.52億元；淨利潤分別為1512.36萬元、2087.24萬元和1242.83萬元。華卓精科表示，報告期內，公司的晶圓級鍵合設備、激光退火設備和光刻機雙工件台處於產品商業化初期，客户相對較少，尚未形成規模化產品銷售，導致公司整體銷售規模較小，銷售結構尚未穩定，存在較大的變動。

衝刺科創板之前，華卓精科曾於2015年在新三板掛牌，並於2019年2月摘牌。華卓精科本次擬募集資金約億7.35元，將用於半導體裝備關鍵零部件研發製造項目、超精密測控產品長三角創新與研發中心建設、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發項目等。