央視探訪國產芯片光刻區：國產芯片給雷達裝上最強大腦

中央電視台國防軍事頻道近日探訪國產芯片光刻區，帶來現場報道。

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光刻工藝使用的光刻膠，它是一種光敏材料，不能輕易地暴露在有紫外線的環境裏，而這種黃光就是不含紫外線的。

我身邊這台機器是勻膠機，可以看到滴管正在把光刻膠滴在基片的中心，然後基片飛速旋轉，利用離心力把多餘的光刻膠甩出，再把邊上較厚的膠洗除，使膠體均勻的附着在表面，這個過程有點像是攤煎餅一樣。在此之後紫外線就有了用武之地，剛才旋塗完光刻材料，並且軟烘之後的基片就會被送到箱體裏面來進行光刻。

光刻工藝是利用類似照相製版的原理，在基片表面上刻蝕精細圖形的表面加工技術，也就是説它使用紫外線把電路圖投影“印刷”到覆蓋有感光材料的基片表面，基片經過光刻之後還要放到顯影液裏面，就像是我們洗照片一樣，溶解發生光化學反應的光刻膠。

電路就是這樣被一層一層的印刷上去，隨着集成電路所包含的器件越來越多，要求單個器件尺寸及其間隔越來越小，所以光刻所能分辨的最小線條寬度也標誌着集成電路的工藝水平。

我們大膽創新，探索出一條獨具特色的高集成、射頻微組裝工藝技術路線，使T/R組件產品體積大幅縮減至傳統產品的十分之一到二十分之一，實現了輕小型化量產，有力地支撐了裝備小型化的發展趨勢。