中國首家12英寸晶圓再生工廠在合肥量產

中新社合肥7月15日電 (記者 趙強)安徽省合肥市人民政府15日發佈消息稱，合肥至微項目當日正式量產，這是中國國內首個立項又最先量產的12英寸晶圓再生工廠。

所謂“晶圓再生”，指的是通過去除損耗控擋片表面的雜質和缺陷，使處理後的晶圓達到新片的標準，實現其循環再利用，進而為企業節約大量成本。

據介紹，合肥至微項目總投資近10億元(人民幣，下同)，2020年3月正式開工，2020年12月項目設備基本搬入調試，2021年3月，進入試生產階段，至6月進入量產階段。

合肥量產的這一晶圓再生項目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設計基礎，是服務於中國半導體高階市場的首條投產的12英寸晶圓再生產線。該項目全面達產後，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力，滿產後年產值可超過6億元。

據瞭解，在此之前，中國高階的晶圓再生需求都要送到日本、中國台灣等地處理。而隨着至微項目的量產，合肥將成為滿足晶圓再生需求的重要基地。

經過多年發展，合肥已成為中國國內集成電路產業發展最快、成效最顯著的城市之一。目前已集聚集成電路企業超300家、從業人員超2萬人，擁有晶合集成、通富微電等一批行業龍頭，成為中國少數幾個擁有集成電路設計、製造、封裝測試及設備材料全產業鏈的城市之一。

合肥至微項目的成功量產，將成為中國最早具備12英寸晶圓再生及關鍵設備零部件再生能力的項目之一，這為合肥市集成電路產業鏈添上重要一環，也為產業高質量發展注入了新的動力。(完)

【編輯:黃鈺涵】