打造屬於自己的光刻產品

江蘇邳州經濟開發區泰山路西側坐落着一家並不起眼的企業——徐州博康信息化學品有限公司，近段時間以來，這個佔地近200畝的小工廠卻成為資本市場追逐的目標之一。

從8月11日到9月11日，短短一個月時間內，華為旗下深圳哈勃科技投資合夥企業向徐州博康新增投資3億元，成為華為哈勃最大單筆半導體產業鏈投資；上市公司華懋科技發佈公告，通過參與設立的產業基金東陽凱陽科技創新發展合夥企業（有限合夥）對徐州博康進行投資。

科技巨頭和上市公司為何把目光投向江蘇邳州這家企業？

“我們自成立至今，一直專注於光刻膠原材料到成品的自主研發及生產。先後攻克了有效去除光刻膠單體金屬離子和產品純化工藝等多項難題，填補了國內在該項技術上的空白。”徐州博康董事長傅志偉説，資本市場看好徐州博康，既是上市公司對發展光刻膠產業的一種戰略佈局，更是對徐州博康光刻膠領域自主研發成果的認可。

找準技術突破口

走進徐州博康產品展廳，一排排裝滿液體的褐色玻璃瓶罐擺放在展台上，標註着光刻膠單體、樹脂、光引發劑等光刻膠組成材料名稱，引人注目。

“過去這些光刻膠材料我們高價買不來。現在我們在光刻膠材料研發領域取得突破，很多國外廠商反過來向我們訂購產品。”傅志偉端起一瓶單體試劑告訴記者，如果把芯片比作電子信息產業的皇冠，那光刻技術就是皇冠上的明珠，而作為芯片研發的重要材料——光刻膠，一直被髮達國家攥在手裏，成為制約我國芯片產業發展的“卡脖子”環節之一。

“我們把光刻膠單體作為突破口，心無旁騖專注研發，腳踏實地做產品產業化，成功實現了光刻膠單體的自主研發及生產。”傅志偉説，企業當時在沒有經驗、缺少專業技術人才、缺失關鍵上游原材料的條件下啓動研發及生產，雖然經歷曲折坎坷，但橫下一條心就一定能做成。

“光刻膠的研發，關鍵在於其成分複雜、工藝技術難以掌握。”徐州博康信息化學品有限公司生產總監劉司飛參與了公司光刻膠單體量產、樹脂研發以及配膠的全鏈條工作，他感慨地説，能夠參與其中感覺很驕傲、很自豪，累並快樂着。

為了讓光刻膠單體材料實現從實驗室小批量到生產線噸位級生產並品質穩定，劉司飛曾和研發團隊一起立下技術攻關軍令狀，半年時間吃住在公司，沒日沒夜地試驗，最終實現了193納米單體產品金屬離子含量由100ppb降到了10ppb，純化提高了10倍，滿足智能手機芯片等集成電路對於光刻膠的需求。

目前，徐州博康自主研發了光刻膠重要材料——光刻膠單體，同時還將國內光刻膠單體由248納米的研發生產提升到193納米研發、產業化階段；成功研發G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產品並形成量產，為國內主流廠商批量供貨。

走自主研發之路

“光刻膠在玻璃釜裏製造和在流水線上生產有很大區別，試生產階段要時刻關注數據變化，確保產品穩定性。”在徐州博康新廠大數據控制中心，公司產品總監邵嚴亮正帶領團隊針對一款即將量產的光刻膠進行穩定性評估。

工欲善其事，必先利其器。今年6月份，徐州博康建成並投產國內最完備的高水平光刻膠研製基地，每年可生產1100噸光刻材料、10000噸電子級溶劑，產值達20億元。“徐州博康不僅在光刻膠單體生產上實現了突圍，也在光刻膠產業鏈研發製造及光刻機的研發上全面發力。”邵嚴亮介紹説，目前徐州博康光刻膠單體佔全球市場份額5%，儲備了全球80%的技術，開發出10多個高端光刻膠系列產品。

打破國外壟斷、實現自主研發離不開科技創新的支撐，而提高科技創新支撐能力，人才是關鍵。

“為了給企業自主研發提供源源不斷的技術力量，我們在國內光刻膠領域廣發英雄帖，組建了120餘人的研發團隊，佔公司員工超40%，同時搭建了3000平方米國際標準研發中心作為技術創新平台。”傅志偉説，通過不計其數的試驗，忍耐了無數次的失敗、重來，再失敗、再重來，公司自主研發收穫頗豐，已獲批27項發明專利，正在申請的專利達41項，並具有完全的自主知識產權。

佈局中高端市場

傅志偉説，早在2013年，中科院微電子所就與徐州博康展開了密切合作，在光刻研發方面突飛猛進，並不斷挑戰一個又一個技術封鎖，最終使得光刻技術的研發達到國際先進技術水平。

在光刻材料取得重大進展的同時，徐州博康還與中科院微電子所聯合組建了一支新團隊——江蘇影速，開始進軍先進光刻設備領域。

短短3年時間，江蘇影速就完成了半導體納米級制板光刻設備研發及PCB激光直接成像設備研發兩個國家科技重大專項，成為我國唯一能夠製造“半導體納米級制板光刻設備”的企業，產品交付國內研究所、軍工企業及一線廠商，逐步擠壓進口設備的市場空間，並結束了我國半導體裝備領域“零出口”的歷史。

與此同時，徐州博康收購了英國的光刻機制造企業NBL電子束光刻機公司並落户徐州經濟技術開發區，未來將在園區內主要生產電子束光刻機、掃描電鏡、高壓電源以及電子束槍、無磁電機等高科技產品。

目前，徐州博康已經發展為全國為數不多的中高端光刻膠材料研發和規模化生產企業，成為全球最快激光直寫光刻機的發明者和製造商。談到企業未來的發展，傅志偉説：“我們要努力掌握和創造屬於我們自己的光刻技術及產品，改變全球光刻產業格局。”