光刻機巨頭阿斯麥尋求替代烏克蘭氖氣，有中企已通過認證

【文/觀察者網 呂棟】

作為全球半導體原材料氣體的生產大國，烏克蘭供應着全球超過70%的氖氣，這種稀有氣體對半導體光刻環節至關重要。因此，俄烏戰局也牽動着全球半導體行業的心。

當地時間2月23日，路透社報道稱，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）正在尋找其他氖氣的供應來源，以防俄烏衝突導致氖氣供應中斷。當天，阿斯麥一位發言人表示，該公司使用的氖氣約有20%來自烏克蘭。

無獨有偶，美國存儲芯片巨頭美光也在擔心供應鏈問題。該公司本週二（2月22日）表示，正密切關注烏克蘭局勢，有小部分惰性氣體的供應來自烏克蘭。不過，該公司已經儲備大量庫存並且進行多元化採購，氖氣主要來自歐盟、美國和亞洲等各地供應商。

雖然電子特氣有一定技術壁壘，行業集中度也較高，但中國已取得多個品種的突破。在今天（2月24日）俄羅斯對烏克蘭發起進攻後，A股多數板塊下跌，國產特種氣體板塊盤中卻逆勢直線拉昇，其中已通過阿斯麥認證的華特氣體盤中漲逾15%，正在推進阿斯麥認證的凱美特氣也一度漲逾8%。不過，中企最終能在多大程度上受益，仍有待相關公司披露，畢竟氖氣等作為光刻氣體的絕對需求量並不算大，認證週期也較長。

華特氣體方面告訴觀察者網，該公司通過阿斯麥認證的主要是光刻氣，使用這些混合氣的大多是半導體晶圓廠，阿斯麥購買氖氣可能只是用於光刻機實驗。而華特氣體的上游供應商包括空分氣體企業、金屬冶煉企業、化工企業、生產粗產品的氣體公司等。雖然烏克蘭的氖氣供應占比較高，但國內稀有氣體的供應已經可以滿足特氣廠商的需求。

阿斯麥CEO温彼得 圖源：阿斯麥

烏克蘭供應美國90%以上半導體級氖氣

烏克蘭局勢的迅速升級，再度引發市場對特種氣體行業的關注。近些年，隨着電子行業的興起，特種氣體成為在工業氣體大門類下發展起來的產業，廣泛應用於集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環保、醫療等領域。

市場調研機構Linx Consulting數據顯示，半導體市場所需電子特氣佔比達70%左右，液晶顯示和晶硅太陽能電池需求佔比分別為20%和4%。其中，在半導體所需的電子特氣種類超過100種，並被廣泛應用於其生產工藝各個環節。根據SEMI數據，2019年全球晶圓製造材料市場規模約328億美元，其中電子特氣規模約43億美元，佔比13%，是僅次於硅片的第二大耗材。

數據來源：2021年12月，億渡數據

作為全球半導體原料氣體的供應大國，烏克蘭主要供應氖、氬、氪、氙等氣體，其中氖氣的供應是全球市場主導者。2月1日，市場調研機構Techcet發佈的報告顯示，烏克蘭氖氣（Ne）的全球供應份額達70%，而氪氣（Kr）和氙氣（Xe）的全球供應份額分別達到40%和30%；美國更是超過90%的半導體級氖氣供應都來自烏克蘭（由俄羅斯生產，烏克蘭純化）。

國金證券2022年2月研報截圖

氖氣是鋼鐵行業的副產品，主要用於半導體光刻。TrendForce集邦諮詢向觀察者網提供的報告顯示，光刻氣體是光刻機產生激光的光源，而氖氣是光刻混合氣體中的必要氣體，難以取代。由於烏克蘭供應全球大部分氖氣，因此其地區經濟局勢不穩定或將對產業鏈穩定造成影響，對晶圓製造成本上升形成階段性推動。

華特氣體招股書截圖

目前，氖氣的應用領域主要是深紫外光刻（DUV），製程涵蓋8英寸晶圓的180nm至12英寸晶圓的1Xnm。TrendForce研究顯示，晶圓代工方面，全球180-1Xnm產能佔整體約75%，多數晶圓廠180-1Xnm營收佔比超過九成，且自2020年起供貨極為緊張的零部件PMIC、Wi-Fi、RFIC、MCU等製造製程皆落在此區間；DRAM方面，目前仍有超過九成的產能採用DUV製程；而NAND Flash則全部採用DUV工藝。

市場調研機構Omdia日前直接指出，三星、英特爾、德州儀器和格羅方德面臨着前所未有的困難，他們不僅要不斷嘗試挑戰物理極限，還要尋求自己不得不依賴但又難以獲取的稀有物質。更糟糕的是，可能爆發的烏克蘭戰爭也許會給半導體行業帶來更多難題，因為這場戰爭可能會顯著加劇目前半導體持續短缺的態勢。

Omdia報告截圖

作為俄烏衝突的主角，俄羅斯是另一種重要材料鈀的重要供應國，佔全球供應量約40%，美國則有35%的鈀來自俄羅斯。作為世界上最稀有的貴金屬之一，鈀是航空航天、核能、汽車製造中的關鍵材料，在半導體中主要被用於傳感器和存儲器的製造，並作為一些封裝技術的電鍍材料；銅線鍵合技術中，為防止銅線氧化，也會給銅表面鍍一層惰金屬鈀。

除此之外，俄羅斯還是鎳礦生產國之一，去年開採量佔全球10%。鎳為電動車電池的關鍵材料，一旦衝突升温，汽車產業或將承擔更多的成本上漲與供應鏈不穩定，為2022年新能源車發展增添變量。

“不再是卡脖子技術”

在俄烏局勢影響下，氖氣價格正強勢走高。市場機構ifind數據顯示，截至2月23日，國內市場氖氣價格報1650元/立方米，較年初漲幅達65%，較2021年10月低點已經翻了四倍。而半導體行業上一次出現嚴重的氖氣短缺也與俄烏局勢有關，根據美國貿易委員會（ITC）數據，2014年克里米亞半島局勢緊張時期，氖氣價格一度上漲600%。另一方面，氪氣和氙氣年內的漲幅也較為可觀，截至2月23日，氪氣價格年內累計上漲39.24%，氙氣的價格年內漲幅達27.27%。

數據來源：同花順金融

從全球佈局來看，在極大規模集成電路、新型顯示面板等尖端領域，特種氣體市場主要由法國液化空氣集團、美國林德集團、美國空氣化工集團、美國普萊克斯集團、日本大陽日酸集團、日本昭和電工等國外氣體公司寡頭壟斷。

數據來源：億渡數據

不過，儘管電子特氣擁有諸多壁壘，行業集中度相對較高，但目前我國也取得了多個品種的技術突破。科創板上市的華特氣體披露，該公司成為國內首家打破高純六氟乙烷、高純三氟甲烷、高純八氟丙烷、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、光刻氣（Ar/F/Ne 混合氣、Kr/Ne 混合氣、Ar/Ne 混合氣、Kr/F/Ne 混合氣）等產品進口制約的氣體公司，並率先實現了近20個產品的進口替代。

不僅如此，華特氣體招股書還顯示，該公司光刻氣產品於2017年通過阿斯麥的產品認證，並且國內市佔率達到60%，解決了中芯國際、華虹宏力、長江存儲、武漢新芯、華潤微電子、台積電（中國）、和艦科技、士蘭微電子、柔宇科技、京東方等客户多種氣體材料的進口制約，並進入英特爾、美光科技、德州儀器等半導體企業供應鏈體系。

但通過阿斯麥等巨頭認證後，華特氣體並未披露拿到多少晶圓廠的訂單。

華特氣體招股書截圖（2019年12月A股上市）

國內另一家企業凱美特氣也在推進阿斯麥的認證。2月17日，凱美特氣披露，正在積極推進國內、國外認證進度，不過阿斯麥認證需要公司背景調查、文件審查、樣品檢測、現場驗收、評價驗收等過程，正在積極一步步往前推進。去年3月，凱美特氣曾披露，阿斯麥一般認證週期為3-5年，需要認證完成才能供貨。隨後到12月，凱美特氣透露，該公司與天津賽能氣體簽訂首份氖氣購銷合同。

凱美特氣公告截圖

其實早在2015年6月，武鋼氣體公司就曾向美國出口價值950萬元的氖氣。據武鋼集團官方微信披露，武鋼氣體公司擁有世界最先進的全提取空分設備，已成為國內最具實力的空分工業氣體產銷基地，亞洲最大乃至在世界上頗有影響力的稀有氣體產銷基地，被業界譽為“中國稀有氣體的搖籃”。

武鋼集團官方微信截圖

中國特種氣體市場資深分析師任路日前曾表示，雖然氖、氪、氙為半導體行業生產所必需，但是其絕對使用量並不高，作為鋼鐵行業的副產品，全球市場體量不是很大。“中國是全球鋼鐵大國，對於這些稀有氣體的純化技術已經實現了突破，生產工藝也比較成熟，不再是能夠‘卡中國脖子’的技術了。”

雖然技術上取得突破，但與液化空氣、林德集團等上千億營收的巨頭相比，中國特氣廠商的規模仍然較小。2020年，華特氣體的營收僅為9.98億元，淨利潤1.05億元；同期，凱美特氣的營收為5.18億元，淨利潤為0.72億元。由於自身規模與行業巨頭差距懸殊，且阿斯麥、美光之外的多家半導體廠商（英特爾、格羅方德、三星等）透露供應來源多元、受烏克蘭局勢影響不大，華特氣體和凱美特氣今天股價短暫衝高之後迅速回落，截至收盤，兩家企業的漲幅分別為4.64%和0.30%，市值分別為98億元和104億元。

信達證券2021年7月研報截圖

本文系觀察者網獨家稿件，未經授權，不得轉載。