中國拿到論文也造不出EUV？日本光刻膠巨頭JSR被批“傲慢”

【文/觀察者網 呂棟】

“我認為中國也非常想發展自己的EUV（極紫外光刻）能力，以及適配這一領域的生態系統。但很坦率地説，我認為他們要做到這一點非常困難。”5月23日，英國《金融時報》援引日本光刻膠巨頭JSR首席執行官埃裏克•約翰遜（Eric Johnson）的話報道稱。

在半導體制造領域，EUV光刻機和材料的研發難度的確很高。但約翰遜在美國總統拜登訪日之際做出如此評論，被這篇報道下方的國外網民批評“過於傲慢”。網民評論直言，“如果認為中國在先進芯片領域需要數十年才能趕上，那就太低估中國的創造力了”、“他們會成功的，這只是時間問題”。

實際上，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）CEO温彼得也在今年1月表達過和約翰遜類似的觀點，認為“中國不太可能複製出頂尖的EUV光刻機”。但他當時補充稱，永遠別那麼絕對，中國的物理定律和全世界是一樣的，“他們肯定會嘗試”。

英國《金融時報》報道截圖

JSR公司成立於1957年，中文名為日本合成橡膠，是全球主要的光刻膠供應商之一。在應用方面，光刻膠是半導體、液晶面板（LCD）、印刷電路板（PCB） 等產業的重要原材料。在半導體領域，光刻膠分辨率決定器件的尺寸。按曝光波長分類，光刻膠可以分為g線、i線、KrF、ArF和最先進的EUV（極紫外）光刻膠等。

第三方數據顯示，截至2021年，JSR是全球僅有的四家EUV光刻膠供應商之一，這種光刻膠應用於EUV光刻環節，是製造最先進芯片必不可少的材料。另外，JSR在ArF光刻膠領域以24%的市場份額位居全球第一；在整個光刻膠領域，JSR以13%的市場份額位居世界第三，日本東京應化和美國陶氏化學分列第一和第二。

圖源：華經情報網

埃裏克•約翰遜目前擔任JSR的CEO，也是日本公司中為數不多的美國高層。他在接受《金融時報》採訪時稱，中國很難掌握基於極紫外光刻或者被稱為EUV光刻（Extreme Ultra-violet）的複雜芯片製造技術。

約翰遜做出這一表態之際，正值拜登開展亞洲之行。5月20日，拜登和美國商務部長雷蒙多等人抵達韓國後，直接前往三星最先進的3納米工廠參觀，EUV光刻機是實現這種工藝必不可少的設備，拜登在現場強調“要保證半導體供應鏈穩定”。

拜登參觀三星電子的3納米工廠

作為半導體制造最重要的環節之一，EUV光刻機可以在硅片上刻出需要的微小電路。

CINNO Research半導體事業部總經理Elvis Hsu在接受觀察者網採訪時表示，光刻機是半導體制造設備價格佔比最高的部分，約25-30%。其研發難點在於曝光光源、對準系統和透光鏡頭等技術的整合，以及龐大的資金投入。目前，國內技術領先的光刻機研製廠家可以穩定生產90/65納米制造工藝的光刻機。

“即使中國拿到一份關於化學成分細節的論文……，要在純度、精度和大規模量產方面實現成功也是非常困難的。事情沒有那麼簡單，他們也沒有供應鏈來支持這一點。”約翰遜在接受前述採訪時稱，開發尖端技術需要數十年時間和大量資金……行業確實需要像iPhone這樣的產品去承擔研發成本。

毫無疑問，約翰遜是半導體行業具有話語權的人士，但他的觀點似乎並沒有得到全部網友的認同。

觀察者網注意到，在這篇報道下方為數不多的評論中，一位國外網友寫道：

我仍然記得上世紀五六十年代美國汽車和家電製造商擁有相同的傲慢：日本過去生產的產品質量相當低，而西方沒有人認為他們可以生產更高質量的產品。他們不妨讀一讀斯隆1963年的著作《我在通用汽車的歲月》。斯隆在其中宣稱：不要把市場份額視為理所當然。

我也知道半導體設備是有史以來最複雜的產品。但如果認為中國需要幾十年才能趕上，那就低估了中國的能力和創造力。看看超級計算機和生物技術領域吧，中國已經走在世界前列。雖然半導體制造完全是另外一回事，但我認為中國正在瞄準下一代技術（就像大家都在開發4G技術時，中國已經着眼於5G技術一樣），正是因為製造系統會有所不同，他們必須開發一種新的技術來繞過當前的限制。

國外網友評論截圖

另一位網友寫道：

我十分好奇，為什麼一個如此受人尊敬（由於他的資歷和獨特的行業地位，一個孤獨的美國人在一家日本公司工作）將是如此勇敢（或者是如此愚蠢？），冒着風險公開發表這樣危險的評論。除非我在字裏行間漏掉了什麼特別的信息，否則我看不出這位高管説的話有什麼好處，但我可以想象出他的話中有很多壞處，希望他説這些話是有正當理由的——祝他好運。

國外網友評論截圖

還有一位網友評論道：

在我看來，事情的發展方向是，美國試圖通過阻礙自由貿易來削弱其競爭對手的經濟，這將適得其反。中國等競爭對手將以更低的成本開發自己的替代產品。沒有人喜歡被勒索的想法。我認為他們會成功的，這只是時間問題。唯一能阻止他們的人是他們自己（The only people who can stop them are themselves）。

國外網友評論截圖

在做出前述表態的同時，約翰遜還提到，中國企業正在積極投資不是那麼先進的芯片製造技術，這些技術同樣很重要，“中國有多少不依賴於前沿技術的機會，人們沒有充分認識到這一點。”

財報顯示，在截至2021年3月31日的財年中，JSR在中國市場實現營收6.62億美元（約合人民幣44.08億元），佔總營收的比重為16.41%，中國是該公司第二大市場。

JSR財報截圖

約翰遜指出，中國是JSR增長戰略的重要組成部分。但他同時提到，希望能夠在“尊重”和“負責任地”為中國客户提供服務的同時，兼顧“對美國政府的關切以及對保護日本利益的關切”。

針對約翰遜提到的EUV技術，阿斯麥CEO温彼得曾在今年1月初表示，“因為阿斯麥依賴於不懈的創新，以及整合只有從非中國供應商處才能獲得的零部件，中國不太可能獨立複製出頂尖的光刻技術。但我的意思並不是絕對不可能，因為中國的物理定律和我們這裏是一樣的。永遠別那麼絕對，他們肯定會嘗試的。”

阿斯麥NXE3400型EUV光刻機 圖片來源：阿斯麥官網

從2018年開始，阿斯麥就試圖向中國大陸銷售EUV光刻機，希望進一步進入中國大陸市場，但荷蘭政府一直未批准其出口許可申請。在美國的持續施壓之下，這一請求已被荷蘭官員擱置。

“出口管制將加快中國自主研發，15年時間裏他們將做出所有的東西”、“中國完全自主掌控供應鏈之後，歐洲供應商將徹底失去市場”，其實温彼得去年4月就已經公開表達過焦慮，但美國一直選擇視而不見。

至於持續兩年的全球缺芯問題，約翰遜在前述採訪中指出，削弱全球經濟的芯片供應瓶頸問題，要到明年才能解決。他認為，半導體行業在滿足汽車芯片需求方面尤其存在“問題”，因為這些領域使用的芯片不是那麼先進，利潤較低，吸引的投資也較少。

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