我國科學家首次獲得納米級光雕刻三維結構

14日夜，國際頂級學術期刊《自然》發表了我國科學家在下一代光電芯片製造領域的重大突破。南京大學張勇、肖敏、祝世寧領銜的科研團隊，發明了一種新型“非互易飛秒激光極化鐵電疇”技術，將飛秒脈衝激光聚焦於材料“鈮酸鋰”的晶體內部，通過控制激光移動的方向，在晶體內部形成有效電場，實現三維結構的直寫和擦除。

這一新技術，突破了傳統飛秒激光的光衍射極限，把光雕刻鈮酸鋰三維結構的尺寸，從傳統的1微米量級（相當於頭髮絲的五十分之一），首次縮小到納米級，達到30納米，大大提高了加工精度。

圖自央視新聞

這一重大發明，未來或可開闢光電芯片製造新賽道，有望用於光電調製器、聲學濾波器、非易失鐵電存儲器等關鍵光電器件芯片製備，在5G/6G通訊、光計算、人工智能等領域有廣泛的應用前景。

（總枱央視記者 周培培）