東方晶源新一輪融資近10億，年初被ASML指控“可能侵權”

【文/觀察者網 呂棟】

日前，國內企業東方晶源宣佈完成新一輪近10億元股權融資。該公司透露，本輪融資將主要用於新產品研發、生產基地建設併為訂單履約提供保障。官網披露，2020年至今，東方晶源曾在“A輪融資實現重組，B輪融資大額超募，高估值完成C輪數億元融資”。

不過，在被問及融資總額及上市計劃時，東方晶源方面11月29日向觀察者網表示，該公司融資總額尚未對外披露，今年內沒有IPO計劃。

東方晶源成立於2014年，總部位於北京亦莊經濟技術開發區，專注於集成電路製造良率管理。

“良率管理是晶圓代工廠運營的重要指標，隨着集成電路製造複雜度的增加，良率管理的重要性也愈發凸顯，因此市場前景廣闊。從具體產品來看，東方晶源涉足軟件和硬件裝備處於產業鏈上游，是國產替代的核心領域，因此市場規模也很大。”東方晶源向觀察者網表示。

原本東方晶源只是半導體細分領域的玩家，並不出圈，但今年初的一件事讓東方晶源被放在聚光燈下。

今年2月，荷蘭光刻機巨頭ASML在財報中宣稱，東方晶源正在中國積極銷售可能（could potentially）侵犯該公司知識產權的產品。該公司正密切關注東方晶源的動態，如果有確鑿證據ASML將訴諸法律。

東方晶源並不直接生產光刻機，為何會被ASML指控？這主要因為ASML的業務不只是光刻機，還有計算光刻、電子束計量與檢測系統等軟硬件產品，而這些領域恰好是東方晶源的主營業務。

東方晶源向觀察者網表示，成立8年來，該公司自主研發出計算光刻軟件（OPC）、納米級電子束檢測裝備（EBI）、12吋和8吋關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）等四款核心產品，“上述產品填補多項國內市場空白，也是目前國內唯一產線驗證並實現訂單的產品”。

這其中，計算光刻軟件應用於光刻掩模版優化，如果曝光圖形跟實際掩膜（Mask）有差異，可以通過計算光刻提前修正掩膜確保得到想要的圖形，而電子束缺陷檢測設備可通過智能算法檢測出硅片上的電性和物理缺陷，是芯片製造過程中提升良率的關鍵設備。

計算光刻校正演示 圖源：東方晶源

據東方晶源透露，今年6月該公司電子束缺陷檢測（EBI）和關鍵尺寸量測（CD-SEM）兩台設備已交付上海客户，此次出機標誌着東方晶源硬件產品開啓批量交付模式，之前該公司電子束量測檢測設備曾出機國內知名晶圓代工廠。同時，該公司計算光刻EDA軟件產品2021年完成28nm邏輯芯片關鍵工藝層良率硅片驗證。

ASML為何會突然盯上東方晶源？觀察者網之前在一篇報道中詳細介紹過，ASML方面提到，東方晶源與一家已經破產的美國公司XTAL存在關聯，2019年美國法院曾判定XTAL侵犯ASML知識產權。

ASML中國也向觀察者網表示：“東方晶源和XTAL之間有關係是公開信息”。

彭博社之前的一篇報道提到，XTAL和東方晶源都是由ASML子公司Brion前員工俞宗強（Zongchang Yu）創立於2014年，後者於2012年從ASML離職。其中，XTAL主要設計和製造半導體設備併為行業提供諮詢服務，而東方晶源專注於集成電路良率管理。

雖然ASML最初被告知XTAL業務不包括計算光刻，但實際上，XTAL不僅進行計算光刻業務，而且被指控非法利用Brion在該領域的相關技術。在成立一年後，XTAL就搶下ASML多個大客户，包括半導體巨頭三星。隨後，ASML在2016年對XTAL發起了訴訟。

對於ASML今年初的説法，東方晶源並未正面回應。該公司今年2月在一份聲明表示，網絡上大量報道與事實不符，該公司自成立以來一直遵守中國法律法規、合法合規經營，形成了獨立、完備的知識產權體系。

當被問及對此事有沒有進一步評論時，東方晶源11月29日向觀察者網表示，暫無更多信息提供。

目前，全球計算光刻工具軟件市場完全由Synopsys、Mentor、ASML-Brion等三家美國公司佔領。

耐人尋味的是，在東方晶源稱該公司計算光刻產品（OPC）完全自研的同時，華中科技大學機械學院劉世元教授團隊近日也宣佈研發出我國首款完全自主可控的OPC軟件，並稱從基礎研究到產業化應用整整走了十年，填補了國內空白。

東方晶源官網截圖

微信公眾號“華科人”截圖

從體量來看，東方晶源的規模在半導體業內並不算大。該公司去年銷售額剛剛過億，員工規模在300人左右，研發人員佔比近70%，曾被評定為國家級專精特新“小巨人”企業。

觀察者網查詢企查查發現，東方晶源目前股權結構較為分散，疑似實控人有兩位：陳曉飛和俞中強。其中，陳曉飛企業表決權最大，他同時在20餘家投資企業中擔任法人。而俞中強是東方晶源董事長和法定代表人，最終受益股份最高（12.7312%）。

而亦莊國投的官網顯示，東方晶源由中國500強企業--中國東方集團投資控股，後者在港股上市，旗下主要控股持有的附屬公司為河北津西鋼鐵集團。這一點也與東方晶源披露的信息吻合，該公司曾於2014年-2016年獲得津西鋼鐵投資，完成公司籌建。

亦莊國投還曾提到，俞宗強是回國創業，東方晶源核心團隊由曾在美國、日本和歐洲的IC裝備製造和計算光刻公司關鍵崗位工作過的30多名專家構成。

據跟蹤中國公司所有權的荷蘭達特納公司（Datenna）稱，截至2019年，中國東方集團通過其子公司持有東方晶源50%以上的股份。自那以後，隨着其他投資者的加入，該公司已出售了其所持股份。

在最新一輪融資中，東方晶源的原股東興橙資本、諾華資本、亦莊創投、新鼎資本、松禾資本等機構繼續增持，中地信基金、京國盛基金、數文基金、絲路華創、紅馬資本、五牛控股等成為“新力量”。

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