一個大笑話:100個光刻機造100條芯片產線_風聞
陈经-亚洲视觉科技研发总监-04-14 08:48
有個叫“淡然小司”的人談芯片自給率,提到了我。他的説法裏有很多問題,缺少產業常識。一個大笑話:100個光刻機造100條芯片產線
1.
聊芯片業,大多數人都缺乏產業常識,典型就是這個“淡然小司”。沒有專業知識,無法用正確的名詞來聊問題,就會用一些語文式的模糊理解來想當然。我有些朋友是在芯片製造業的,業內人士也會出來寫科普文章,有專門聊芯片知識的公眾號等平台。但是説實在的學習門檻比較高,如果沒有下功夫去把芯片產業名詞概念、芯片製造FAB流程搞清楚,真的很不好懂,容易犯理解錯誤,因為實在是坑太多了。
2. 例如這個文章,裏面談到了“芯片產線”,説進口光刻機ASML的85台,日本尼康的20台,上電微還自產20台。然後就説,一年能建100條芯片產線。這個只能説對芯片產線很缺乏常識,業界人士一看就知道是大笑話。
3.
FAB裏一條芯片產線,會有幾十個到上百個“機台”,每個機台上面是一些機器,晶圓批量裝在foup(晶圓傳送盒)裏,在天車上運到各個機台流水線處理,全部機台走完可能要1個月甚至更長時間。機器有很多種,主要用於光刻、刻蝕、薄膜沉積、摻雜四大工藝。刻蝕機就有很多種,因為要在晶圓上反覆沉積上各種材料,蝕刻掉指定的部分,晶圓也要精細蝕刻掉一些部分。蝕刻幾十次都有可能,可以理解成在晶圓上刺繡雕花,芯片其實是沉積+刻蝕出來的。而光刻機是配合刻蝕機的,並沒有直接去刻晶圓,是刷了光刻膠成像,來指定引導蝕刻的區域。所以一條產線上光刻機都是要不少的,絕對要多台。
4.
並不是一些人以為的,買一台光刻機,咣咣咣就把晶體管象激光刻字一樣“光刻”好了;然後再一箇中微的刻蝕機,再來幾下就好了。這光刻和蝕刻都要幾十道,多個光刻機和刻蝕機,一個芯片用於光刻的掩膜板mask就會有40多張甚至超過100張。有的可以用一個光刻機幹,但是精度要求不同會用幾台光刻機,也要並行加快速度,就用多個光刻機。有的產線規劃產能大,甚至需要幾十台光刻機。
5. 另外一個問題,上電微以前出的光刻機基本是後道光刻機,是用於芯片封裝的,在晶圓加工的環節基本沒有出貨。最近也只是傳聞説90nm光刻機用於65nm芯片產線,一年有4台出貨。
6. 因此,買到100個光刻機,是不可能建起100條芯片產線的,十來條還差不多。總之,這個“淡然小司”缺少芯片產線常識。我介紹的這些芯片產線常識還很粗淺,但如果沒有去理解學習,都不太容易明白。


