北方華創：應對國產新能源車爆發，加大碳化硅設備創新力度_風聞

從2013年到2022年，中國新能源汽車呈現了爆發性的增長。業內認為，2023年中國新能源汽車銷售量保守估計將超過1000萬輛。新能源車的爆發，帶來了對碳化硅功率器件的巨大需求。根據YOLE數據預測，碳化硅75%功率器件都是用於汽車之中，2023年中國新能源汽車對碳化硅的需求量將超過83萬片。碳化硅的增量擴產，離不開設備廠商的支持。為此，中國半導體龍頭設備廠商北方華創正在加大碳化硅設備創新的力度。

近日，北方華創華南辦事處總經理牛羣介紹了該公司在碳化硅設備領域的創新情況。據其透露，北方華創在碳化硅上面佈局比較早，開發了從碳化硅襯底、外延到薄膜、光刻、爐管設備的全面解決方案。北方華創還與國內汽車IDM廠商展開全面合作。牛羣擇其要介紹説：

襯底：北方華創可提供APS系列碳化硅晶體生長爐，目前可以實現4、6、8寸的生長，針對碳化硅的特點開發感應加熱和電動加熱兩種方式，整個設備可以用來生產導電包括半絕緣碳化硅等等，晶體生長爐累計銷售2000台，處於遙遙領先的地位。

外延：外延爐目前量產的是單片設備，主要是用來做4寸和6寸，該設備是感應加熱的形式，水平進氣，可以生產N型、P型、薄膜和厚膜外延，從指標上説，無論是在10微米厚度下連續生長30爐，該碳化硅外延設備均勻性依然可以保證在1%，溶度均勻性保持在4%，缺陷密度達到0.3%。憑藉穩定且可靠的工藝性能，已累計銷售近200台。

據瞭解，碳化硅功率器件的成本主要在襯底和外延，6寸碳化硅百分之六十至七十的成本集中於外延片，牛羣表示，“北方華創正與襯底和外延廠商一道，希望能大幅降低碳化硅外延片的價格，推動中國半導體碳化硅的發展。”

為此，北方華創在碳化硅器件設備領域提供了諸多創新解決方案。如碳化硅可視設備，可以實現4、6、8寸的兼容採用雙立體線圈控制，該設備銷售已經接近上百腔室；再比如，針對碳化硅生產過程中的高温處理工藝，北方華創的碳化硅高温爐可通過三段控温實現更好的温度控制以及更好的一致性。

牛羣認為，伴隨着全球尤其是中國新能源汽車發展，碳化硅器件將要從量變引起質變，很快會迎來快速的增長。也正是基於這一判斷，牛羣表示，作為國內領先的半導體設備廠商，北方華創將針對碳化硅襯底材料的特點開發碳化硅設備，同時也希望與行業上下游夥伴共同推進行業的發展。