清華大學在雄安區準備建設的這個項目，就是提供了一個SSMB-EUV光源_風聞

【本文由“gogo2075”推薦，來自《清華大學EUV光源工廠化的方案，這個要成為真正的生產能力還是很遠的》評論區，標題為小編添加】

• 觀察快樂
• 這個只是解決光源問題，核心還是物鏡和工作台吧

感覺作者沒有搞懂這個項目的意義，這個有點類似上海光源（上海同步輻射光源），現在上海光源的作用都知道了，27條光束線39個實驗站遠遠不夠，都在搶票，出票秒殺。微電子、醫藥、石油、化工、生物工程、醫療診斷和微加工，中國石化乾脆自己投資建設三條線站，專門用於新型催化劑、高分子材料和油氣勘探技術等的研究開發。張江之所以成為生物醫藥的國內研究最強基地，很大程度上依靠上海光源。

清華大學在雄安區準備建設的這個項目，就是提供了一個SSMB-EUV光源。ASML一台EUV光刻機也不會賣給中國，EUV光刻機光源只有兩家公司能夠生產：一家是美國Cymer（被ASML收購），另外一家是日本Gigaphoton，也絕對不會賣給中國的。所以EUV光刻相關的曝光系統，掩膜，光刻膠都缺乏EUV光源（華為投資的科益虹源，EUV光源還沒有準確消息，且功率能不能上去也很難講，EUV光刻機最難的一個就是光源的功率提升），而現在中國即將擁有自己的EUV光源，而且是這麼大功率和這麼窄帶寬的EUV光源。而且SSMB具有可拓展性，SSMB原理上容易往更短波長拓展, 為下一代採用波長6.x nm的Blue-X光刻技術留有可能。 

SSMB-EUV光源，現在全球的研究和產業化，大家基本都一樣，同一起跑線。這就是ASML掌門人説的，中國人擋不住，他們可能有另一條路徑。

SSMB的造價(數億到十億)及規模(周長100—150m)適中,至於現在説光刻機工廠確實還太早，但弄着弄着，誰知道呢。