講真,SSMB-EUV光刻工廠這事,有點髒_風聞
采沙-09-18 22:02
捋了一下過去幾年的相關報道,清華SSMB-EUV光源的故事線,大致如下:
1、2017年4月,清華SSMB團隊開始進行SSMB原理驗證實驗的理論分析和數值模擬。
2、2017年7月,唐傳祥團隊牽頭成立國際SSMB研究組,聯合中、德、美等國家的科研人員,推動包括SSMB原理驗證實驗在內的各項研究。
3、2021年2月24日,國際SSMB研究組完成了首個原理驗證實驗,在《Nature》上發了題為《穩態微聚束原理的實驗演示》的研究論文。
注意,是“原理驗證實驗”!

還需要注意的是,從2017年開始,到2021年發表論文,清華國際研究團隊一直是在德國聯邦物理技術研究院位於柏林的計量光源MLS儲存環上做實驗;論文作者有13位,7位是國際合作者。
4、2021年2月25日,《每日經濟新聞》發了一篇熱情洋溢、標題巨長的報道:《破解“卡脖子”難題!清華團隊新成果在《自然》發表:有望為EUV光刻機提供新技術路線》

在這篇報道中,有三個信息值得注意。
其一,唐傳祥告訴記者:“SSMB光源的潛在應用之一是作為未來EUV光刻機的光源,這是國際社會高度關注清華大學SSMB研究的重要原因。”。
注意,説的是“潛在應用”。
其二,“基於SSMB的EUV光源有望實現大的平均功率,並具備向更短波長擴展的潛力,為大功率EUV光源的突破提供全新的解決思路。”
注意,説的是“有望”、“潛力”和“解決思路”。
其三,“目前,清華正積極支持和推動SSMB EUV光源在國家層面的立項工作。清華SSMB研究組已向國家發改委提交“穩態微聚束極紫外光源研究裝置”的項目建議書,申報“十四五”國家重大科技基礎設施。”
注意,這是“SSMB EUV光源”這個概念第一次露面。
2021年3月14日,第十四個五年規劃和2035年遠景目標綱發佈,高能同步輻射光源屬於應用支撐型國家重大科技基礎設施。
但是呢,北京和河北的科技創新“十四五”規劃,都沒有出現SSMB光源科學裝置建設項目。
大概率,清華SSMB-EUV光源項目立項未遂。
5、2022年12月****6日,雄安新區和清華大學簽了《關於共同支持“穩態微聚束(SSMB)極紫外光源設施”項目的合作意向書》。
6、2023年1月12日,清華SSMB光源設施項目團隊赴雄安新區考察洽談落地事宜。
7、2023年2月23日,SSMB項目初步確定選址地點。
8、2023年3月20日,清華大學副校長曾嶸實地考察了SSMB項目選址地點。

截至此時,清華SSMB EUV光源一直沒成為熱議話題。
華為發佈Mate 60手機之初,沒人翻清華SSMB EUV光源的牌子。
哪怕麒麟9000s被熱議之初,還是沒人翻清華SSMB EUV光源的牌子。
直到有人把一張談論清華SSMB EUV光源項目的聊天截圖發到網上,各路妖魔鬼怪才嗨起來。
SSMB國際研究組2021年的論文被翻了出來,一個“大型EUV光刻機工廠”也被手搓了出來,連“超車”都喊出來了。
這事,透着詭異。
如果清華SSMB EUV光源真那麼神奇,怎麼可能不是十四五的國家重大科學設施?!
如果清華SSMB EUV光源真那麼神奇,怎麼可能拖到2023年3月20日還在考察選址?!
幾點想法:
1、要麼是有人別有用心地翻炒舊聞,嘎流量,薅平台的羊毛;要麼是有人在給SSMB光源項目造勢,要政策,薅雄安的羊毛。
如果是前一種,毫無意外,現在吃愛國飯的人太多,又是説光刻者必火。
如果誰後一種,也不意外,科學家也是人,誰都希望有個自己的山頭。王貽芳不就一直呼籲建粒子對撞機嘛。
2、網友們希望中國儘快實現光刻自主的願望是好的,但是,不要因此被別有用心的人牽着鼻子走。
即便不懂科學,總該懂語文。
“原理驗證”只是實驗,“潛在應用”只是可能,“潛力”不是能力,“解決思路”不是解決方案。
一個正吃奶的孩子,打不了男足的比賽。
3、懷柔的HEPS,好像是2009年就提出來概念,然後是各種方案設計、方案論證、工程論證、工藝預研,2016年列入十四五規劃,然後,選址好像都換了兩三個(光源項目怕震動),2019年動工,2025年才能交付。
雄安的SSMB-EUV,不管它是SSMB,還是SSMB-EUV,十年之內,恐怕連一束光也看不到。