荷蘭ASML光刻機，中國銷量為何飆升？_風聞

財經雜誌2023年11月14日 19:48:00 來自北京0人蔘與0評論

到2023年底，ASML在中國的光刻機加上量測機台總數已接近1400台。

文 | 特約撰稿人 顧翎羽 吳俊宇

編輯 | 馬克

這似乎讓人意外。荷蘭光刻機巨頭ASML（阿斯麥 NASDAQ：ASML）在中國錄得業績新高。

中國大陸地區的營收在ASML全球收入結構中佔比一直在10%-20%之間，2023年這一佔比持續飆升。ASML財報顯示，2023年一季度中國大陸地區營收佔比為8%，二季度為24%，三季度驟增至46%。2023年前三季度，中國大陸從ASML採購了52.8億歐元（403億元人民幣）的光刻機設備，這一數字約為2022年ASML在中國全年銷售額的兩倍。

11月5日，ASML全球副總裁、中國區總裁沈波在進博會上接受媒體採訪時透露，到2023年底，ASML在中國的光刻機總數將接近1400台。

光刻是芯片製造的重要環節。以光源波長劃分，光刻機分為UV（紫外線）、DUV（深紫外線）、EUV（極紫外線），理論上7納米及以下的先進芯片製程工藝只能通過EUV實現。

ASML是全球最大的光刻機製造商，也是唯一的EUV光刻機供應廠商。有觀點認為，ASML的技術能力事實上成為了半導體工業擴張的瓶頸。中國的芯片製造想更快突破先進製程，獲得ASML的先進光刻機是關鍵。

如台積電一樣，受制於地緣政治，ASML也不能完全按照商業邏輯運轉，中國大陸無法購買ASML最先進的EUV光刻機，14nm以下製程的國內產線主要依賴於DUV光刻機。

2023年9月1日，荷蘭的《先進半導體制造設備法規》生效。除了EUV設備之外，荷蘭還將部分先進製程所需的DUV產品——TWINSCAN NXT：2000i及後續推出的關鍵浸潤式DUV系統加入管制。

10月17日，美國再次升級對華芯片制裁，影響ASML目前能對中國出口的最先進的光刻機NXT1980Di。

中國大陸想從ASML獲得先進光刻機，越來越難了。

但ASML的中國業務為什麼會在第三季度飆升到新高？這種增長能持續多久？2024年，中國還能夠從ASML買到先進製程所需的光刻機嗎？

ASML在中國賣什麼產品？

ASML的產品種類可以分為I-line、KrF、ArF幹法、ArF浸沒式和EUV。

EUV光刻機主要對應制程在7nm以下，也是國內一直無法獲得的產品。受到中國客户關注的主要產品是DUV光刻機，型號包括XT1900以及NXT系列，其中NXT又分為比較成熟的NXT1980和相對先進的NXT2000/2050/2100，對應制程約在38nm以下。

相同型號的光刻機也會有細分分類，比如NXT 1980系列中也區分Ei、Di、Fi等版本，這種分類主要差異在於單位產能和套刻精度上的區別，覆蓋製程沒有太大區別。

光刻機售價昂貴，無論是EUV還是DUV光刻機，一台售價都在1億美元以上。

ASML在2021年投資者日公佈的一份文件顯示：“關鍵浸潤式DUV”包括了NXT2000i、NXT2050i和NXT2100i三個型號，而“中高端浸潤式DUV”（mid-cirtical）包括了NXT1980Di，在研的NXT1980Ei和NXT1980Fi。

其中，前三款產品中國已經無法買到。

荷蘭政府頒佈的《半導體設備出口管制新規》在今年9月1日生效後，ASML發運TWINSCAN NXT2000i及後續推出的浸潤式光刻系統都必須獲得荷蘭當局的許可。經過ASML與荷蘭政府的溝通，荷蘭政府允許ASML今年繼續發運9月1日前已下單客户的TWINSCAN NXT2000i及後續推出的浸潤式光刻系統。但是自2024年1月1日起，ASML將基本不會獲得向中國客户發運對華出口這些產品的出口許可證。這些產品將事實上對中國禁運。

NXT1980Di是中國目前能夠購買到最先進的ASML產品，國內主要將其用於28nm產線，通過多重曝光技術有機會做到更先進的製程。

ArFi光刻機理論上都可以通過多重曝光技術實現10nm-7nm工藝製程，光刻機型號的差異更多是體現在良率上。但是，多重曝光技術本身會影響良率和產能，會導致工藝路線變長，不穩定因素增多。增加多重曝光的次數，良率和產能都會下降，經濟性會大打折扣。

美國試圖堵上中國利用這種技術突破先進製程的漏洞。2023年10月17日，美國商務部工業和安全局（BIS）針對中國更新的“先進計算芯片和半導體制造設備出口管制規則”（詳見《財經》10月18日文章《美升級對華AI芯片制裁力度，美芯片企業提出擔憂》）,將“專用卡盤覆蓋”值的管制範圍從小於等於1.5納米，上升到2.4納米，而NXT1980Di的“專用卡盤覆蓋”為1.6納米，原本不在管控範圍，現在被納入。

ASML高層在10月18日的財報會上表示，原則上NXT1980Di受美國芯片出口管制限制，但該限制的前提是這些光刻機被用來生產先進製程的芯片，NXT1980Di（較此前受到限制的DUV光刻機）屬於低端浸潤式工具，因此美國出口管制新規只會限制中國個別芯片廠。

“我們也有很多中國客户用這些機器生產中端、成熟製程，這些情況下沒有安全的憂慮，我們就可以出貨，”ASML的CEO温寧克（Peter Wennink）表示。

ASML中國收入為何飆升？

在這樣的背景下，ASML向中國大陸客户的出貨猛增。

2023財年前三財季，中國大陸市場營收佔比分別為8%、24%、46%，從第四大市場躍居至第一大市場。第三季度中國銷售額至24.42億歐元，創下ASML在中國單季銷售紀錄。

行業普遍認為，ASML正在新規生效前集中向中國客户交付產品，2022年及以前中國市場的積壓訂單在2023年集中釋放。

在此次財報會上，ASML管理層表示，中國對DUV設備的需求持續強勁。中國市場佔比高是因為中國客户過去的訂單很多沒有交付，其中很多訂單都已經預付款。對於今年向中國客户發貨的產品，大部分訂單是在2022年預訂的。

過去兩年中國大陸客户的需求滿足率明顯低於50%。這些客户實際上收到的光刻機數量比訂購的要少得多。中國集中採購的的光刻機以成熟製程為主，全都是符合美國出口管制規定內的產品。

也就是説，ASML中國收入激增，主要來自於成熟製程的推動。可是，中國芯片廠為什麼需要這麼多成熟製程？

一方面，根據ASML管理層釋放的消息，中國仍在參與先進製造的芯片廠的數量急劇下降。“當我們與中國客户進行路線討論時，他們都後退了，而不是前進。”温寧克表示。ASML公司CFO 達森（Roger Dassen）也表示，公司的中國客户去年就調整了方向，涉及先進製程的芯片廠已大幅下降，“如果這是（美國芯片出口管制的）目的，現在已經實現了。”

絕大多數中國芯片廠都已經轉向中端、成熟製程。無論是電動汽車，還是能源轉型，這些產業發展都需要大量的芯片支撐。而中國正在謀求建立自主可控的這種產線的能力。“他們會更加接近自主，但不會完全自主，因為當地的需求太大了。”温寧克表示。

《財經》瞭解到，以電動車為例，一些頭部車企均有自己的芯片國產化率計劃。

另一方面，中國客户的轉向不是一種完全孤立的增長。一位國際芯片諮詢機構分析師表示，全世界都在興建Fab（半導體製造廠）。這影響了對半導體設備的需求。過去，半導體產業中設計和製造分離，主要由台積電這樣的代工廠流片和製造。但是在這次供應鏈危機之後，無論是美國、歐洲，還是日本都推出了刺激性的芯片法案，鼓勵半導體本地製造，所以世界各地都興起了芯片製造廠的建廠熱潮，這些增加的產能主要集中在成熟製程。他認為，這是半導體產業將經濟邏輯讓位於安全邏輯的典型表現，如此產能過剩將不可避免。

“被卡的”不僅是光刻機

ASML在中國的生意正處在地緣政治的洪流之中。

一位資深業內人士告訴《財經》，根據他的估算，國內的NXT1980Di目前不會超過80台，而2000i 及以後的型號不會超過5台。

在10月18日的財報會上，ASML CEO温寧克表示，對中國客户的出口限制很難改變。“該規定是政府間深入溝通的結果，改變的前提是地緣政治首先改變。”

他還預計，按照ASML今年在中國大陸的業務規模估算，新法規會對2024年中國大陸業務產生10%-15%的影響。

事實上，美國和荷蘭針對ASML的出口限制，影響也不僅限於部分先進光刻機。

一位芯片技術人士對《財經》表示，光刻機採購之後，後續的保養、維護、服務也高度依賴ASML。輔材購買也高度依賴美日韓荷等企業。只購買光刻機，遠遠不足以徹底解決卡脖子的問題。

多位產業界人士向《財經》表示，由於進口受限，國內產線存在設備超期服役、維修保養難、關鍵零部件無法更換的現象。光刻機零部件眾多，而國內的供應體系才剛剛建立，發展水平仍與海外有明顯差異。

華義創投高級投資經理方亮告訴《財經》，當我們談到“卡脖子”的時候，不要只盯着光刻設備，首先要樹立產線是人員、設備、材料、工藝參數和生產環境五者有機統一的觀念，要充分考慮光刻以外環節所需設備、材料甚至軟件的禁運問題。