光刻機巨頭ASML：沒有向中國市場推出特別版光刻機

【文/觀察者網 呂棟】

7月6日，針對“將向中國推出特供版DUV光刻機”的傳言，荷蘭光刻機巨頭ASML向觀察者網回應表示，“一直以來ASML都遵守所適用的法律條例，我們並沒有面向中國市場推出特別版的光刻機”。

一週前，荷蘭政府正式宣佈限制某些先進半導體設備出口的新規，這些規定將於9月1日生效。具體而言，荷蘭政府將要求先進芯片製造設備的公司在出口之前須獲得許可證。儘管荷蘭政府並未直接點名會受到限制的公司，但外界都明白這是在針對當地最出名的半導體設備公司ASML。

彼時，ASML回應觀察者網表示，根據新出口管制條例規定，該公司需要向荷蘭政府申請出口許可證才能發運最先進的浸潤式DUV系統（即TWINSCAN NXT：2000i及後續推出的浸潤式光刻系統）。荷蘭政府將決定是否授予或拒發出口許可證，並將向ASML提供許可證所附條件的細節。

ASML在聲明中重點指出，荷蘭政府新頒佈的出口管制條例只涉及TWINSCAN NXT：2000i及後續推出的浸潤式光刻系統（DUV，深紫外光刻）。而該公司的EUV光刻（極紫外光刻）系統在此前已經受到限制，其他系統的發運暫未受荷蘭政府管控。

ASML受出口管制的光刻機型號

在荷蘭政府宣佈新的半導體出口管制條例後，中國駐荷蘭大使館6月30日很快做出回應：荷蘭政府正式出台半導體制造設備的出口管制措施，這是對出口管制措施的濫用，是對自由貿易和國際經貿規則的嚴重背離，中方對此堅決反對。

“我們呼籲荷方從維護國際經貿規則及中荷經貿合作大局出發，立即糾正錯誤做法。中方將堅決維護自身合法權益。同時，也願與荷方一道，本着互利互惠的原則，共同探討解決方案，共同推動中荷經貿關係健康發展。”中國駐荷蘭大使館發言人表示。

ASML方面也早就對出口管制做出過警示。今年2月，在接受歐洲媒體採訪時，ASML首席執行官温彼得直言，如果美國及其盟友切斷中國（大陸）獲得某些半導體和半導體制造技術的渠道，中國將被迫加倍努力開發自主技術。他坦言，雖然出口管制是合法工具，但不應該被濫用，決策者在“擺弄”半導體供應鏈之前應充分了解它的複雜性。

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