國產光刻機官宣後，一個奇怪現象：國外網友沸騰，美荷卻沉默了_風聞

文/王新喜

國產光刻機官宣已經有一段時間了，國內外網友都沸騰了，但我們卻注意到一個情況是，美國荷蘭卻沉默了。

今年9月9日，工信部公佈了我國重大技術裝備推廣目錄，氟化氬光刻機赫然在目，這一成果表明了我國光刻機整機生產實現了從0到1的重大突破，且已經大面積商用推廣，意義非常重大！

國外網友沸騰了。在油管上， 瑞士網友表示，中國已經迎頭趕上，有些人在1~2年內，ASML就後悔得要命了。

印度網友説，幹得好，中國，這對全世界都有好處，對科學有益，有利於發展。“中國總是會在最後獲勝，無論一開始有多困難，請記住，中國是發明追逐者。”

韓國網友認為這難以讓人接受，已經封鎖這麼多年了，為什麼他們還是能製造出來。

美國網友清醒過來了，表示：“人們嘲笑中國汽車、太空計劃，嘲笑造船公司，他們現在哭了，你可以嘲笑中國芯科技，但這只是時間問題。

泰國網友説：“最後美國才發現他們一直封鎖，中國一直突破，小丑成了美國。”

新西蘭網友表示，如果認真研究中國的發展歷史，中國人無論面對什麼封鎖，種子、科技，都被他們突破了。而古巴網友表示，中國的科技已經跟上了世界，並準備超越，封鎖別人最後封鎖了自己。

但儘管油管上國外網友一片沸騰，但美國荷蘭卻異常沉默，荷蘭ASML公司也沒有任何高管出來評論這件事情，這與去年華為Mate60橫空出世的時候，美荷的擔憂與慌亂表現截然不同。

為什麼？

國外網友沸騰，美荷卻沉默了

首先，國產光刻機技術突破或在美荷的預期之內，從這次“氟化氬光刻機”的參數來看，300 mm晶圓、193nm波長，其分辨率≤65nm，套刻≤8nm。這只是ArF的DUV光刻機，用來加工12寸晶圓，按套刻精度與量產工藝 1:3 的關係，這個光刻機大概可以量產 28nm 工藝的芯片， 這説明，這是一款相對初級的DUV光刻機，沒法用來加工7nm先進芯片。

因此，工信部官宣的這款DUV光刻機，並沒有觸及ASML的核心利益。ASML的核心利益在7nm以下。在去年，搭載麒麟芯片的Mate60系列的橫空出世，之所以引發美媒的一系列解讀與擔憂，是因為彼時國外針對華為Mate60拆機，發現麒麟9000s是一款非常先進的芯片。當時業內猜測這是一款7nm的芯片。

因此，去年華為Mate60開售第四天，也是荷蘭此前宣佈實施半導體出口管制正式生效的一天（9月1日），ASML快速回應，已向荷蘭政府提出光刻系統出口許可證申請，表示可以繼續向中國出售光刻機。

因此，只要7nm沒有突破，荷蘭ASML就不擔心他們的護城河被突破。

其次，ASML在高端EUV上的護城河很深，28nm距離威脅到它的地位還很遠。如今ASML已是名副其實的"光刻機之王"。2023年，ASML的營收達到270億歐元，淨利潤高達71億歐元。7nm以下高端芯片所需要的EUV光刻機，全世界只有ASML有，ASML全球市場份額接近100%。

從技術層面來看，ASML高端EUV光刻機非常難以顛覆與超越。首先EUV製造所需的體系小，功率高且穩定極紫外線光源，這點美國Cymer公司一直掌握着成熟技術，其他國家都是向其採購的。第二反射鏡面，只有用高精度和高光滑度的鏡片才能聚焦和校準光線，從而光線才能精確無誤的照射在硅片上來畫出微小圖案。目前能夠達到光刻機要求的鏡片標準的廠商也在德國。

另外像是芯片上用的複合材料，光刻膠，高純度化學品也多數都是日本專利。

我國氟化氬光刻機使用波長為193納米的光源，而荷蘭ASML的EUV光刻機使用波長為13.5納米的光源，比DUV的光源要短14倍以上，其提供者就是美國Cymer公司，這是EUV光刻機的關鍵科技。另外，EUV光刻機鏡頭精度要比DUV高很多。據説把這個鏡頭總面積放大到德國一樣大小，誤差也不超過過1毫米。

而另一個方面是，美荷可能還在等華為Mate70的發佈，華為的麒麟芯片進展與工藝製程或許能更好的看清國產光刻機到底走到哪一步了。美荷也清楚，我國曆來都奉行應用一批，研發一批，儲備一批的戰略思想。官宣的，肯定不是最先進的。

而在9月10日，上海微電子更新的一條動態，公司已經申請了“極紫外輻射發生裝置及光刻設備”的發明專利，而且提交時間是兩年前，現在才正式公佈。

因此，今天公佈的國產DUV光刻機或已經是1年前或者2年前的產品了，已經大量在用了，無需保密了。比較敏感的DUV先進光刻機等，外界也很難獲得真正的進展信息。

美荷沉默背後，已經快沒招了，制裁已經接近最大化

美荷沉默背後，我們也看到，今天美荷該用的手段都用了。2023年，英偉達禁止對華出口高端芯片，此前ASML最先進的浸潤式DUV光刻機（即TWINSCAN NXT:2000i及後續推出的浸潤式DUV光刻機）已被限制。自9月7日起，ASML向中國出口TWINSCANNXT:1970i、1980i等DUV光刻機的禁令也生效了。此外美國繼續施壓，要求阿斯麥停止對華半導體設備運維服務。

現在幾乎從高端到中低端，差不多該禁的都禁了。制裁已經接近最大化，幾乎已經沒招了，所以只能沉默，因為手裏沒牌可打了。

阿斯麥也不敢有大的動作，中國市場太重要了，如果把DUV市場都禁了，那麼ASML的營收將遭受前所未有的重創。2024年第二季度，阿斯麥訂單量增至56億歐元，同比增長約 24%。該季度阿斯麥中國區收入約為23億歐元，在總收入中佔比49%。中國市場已經佔ASML的半壁江山了。

美荷或也要擔心未來芯片產業的趨勢

28nm基本上是成熟和先進製程的分界點。這個目錄就是官方已經正式發佈了全國產的半導體工藝，設備和材料，在成熟製程的全國產設備已經可以開始全面替代了。

按照進展，ASML現在要考慮可能不是制裁，而是手頭的低端DUV光刻機以後該賣給誰的問題了。

台灣省時事評論員介文汲此前指出：“如果將來氮化鎵的第二代芯片出來的話，整個原材料在中國手裏面，所以在現在這種情況下，市場技術掌握在中國，原材料掌握在中國，趨勢對中國更有利。”

而更讓荷蘭擔心的是，3~5年後就拼立體封裝技術了，納米數不再是最重要的了。長江存儲董事長陳南翔此前在專訪中也提到了一點，中國芯片產業目前還沒有達到爆發式增長，但未來3-5年將看到這一進步。

他表示：“以前大家注重的都是晶圓製造技術，而在當下還需要最新的封裝技術的加持。比如當前火熱的AI芯片都需要最先進的晶圓製造技術和最先進的封裝技術的。未來封裝技術的重要性恐怕都要超過晶圓製造技術的重要性。”

而華為的三摺疊屏，納米數不是最小的，照樣賣得最貴、最好，已經能説明問題了。

現在美荷制裁陷入僵局，荷蘭如果加大禁售範圍，中國就拿出了新的光刻機。類似在操作系統市場，華為備份的鴻蒙操作系統對安卓與iOS市場的侵蝕效應已經非常明顯了。

那麼接下來的走勢就值得觀察了，脱鈎斷鏈後，我可以從低端走向高端，你能否從高端走向更高端？如果我國進行量產，將有可能吞掉ASML在中低端光刻機的市場。中國在中低端DUV光刻機所佔的市場，就佔據了ASML一半的營收，這對ASML意味着什麼，可能沒有人比荷蘭更清楚。這就是一場梭哈，就看荷蘭是否能看清楚形勢與代價了。

作者：王新喜 TMT資深評論人 本文未經許可謝絕轉載  作者微信公眾號：智能新連接