我國首台國產場發射透射電鏡發佈！將為半導體工業等提供有力支撐

由生物島實驗室領銜研製，擁有自主知識產權的首台國產場發射透射電子顯微鏡於20日在廣州發佈。這標誌着我國已掌握透射電鏡用的場發射電子槍等核心技術，並具備量產透射電鏡整機產品的能力，將為我國在材料科學、生命科學、半導體工業等前沿科學及工業領域的高質量發展提供有力支撐。

中國科學院院士、生物島實驗室主任徐濤聯合中國科學院生物物理研究所研究員孫飛在2016年啓動透射電鏡有關研究，並於2020年在生物島實驗室組建起一支體系完整的透射電鏡研製工程技術團隊。團隊成立三年多以來，相關研發工作接連取得重大突破。

研發團隊介紹，此次推出的首款場發射透射電鏡新品TH-F120，取名源自中華名山“太行”，寓意它將如太行山一樣成為中國透射電鏡產業的脊樑。該場發射透射電鏡利用被加速到120千電子伏特的高能電子與被觀測樣品中的原子發生相互作用，檢測透射電子攜帶的樣品信號轉化為顯微放大的圖像，可以用來觀察材料樣品中的原子排列結構、細胞組織樣品的精細超微結構、病毒和生物大分子複合體的精細結構，是科學家研究微觀世界的重要儀器。

研發團隊表示，該電鏡擁有自主研製的高亮度場發射電子槍，相比於同級進口產品的熱發射電子槍，亮度更高，發射穩定性和相干性更優，匹配自主研製的電磁透鏡系統，針對120kV成像平台特別優化電子光學設計，可帶來更佳的圖像襯度和分辨率。

生物島實驗室是廣東省首批省實驗室之一。自成立至今，生物島實驗室優化整合力量，加快成果轉化、產業孵化和創新體系建設，不斷培養高價值專利，與本地頭部企業共建聯合實驗室、技術產業轉化中心，累計孵化企業12家。

（記者馬曉澄）