華中科技大學：研發國內首套超精密主動減振器

7月10日，華中科技大學與武漢格藍若智能技術股份有限公司簽署成果轉化合作協議，由後者出資8000萬元，對華中科技大學陳學東院士團隊超精密主動減振技術進行產業轉化。

華中科技大學網站

據悉，陳學東院士團隊“二十年磨一劍”，創新性地研發了準零剛度、頻變阻尼、協同控制等超精密主動減振核心技術，突破了降頻率與保承載、減共振與抑高頻、減振動與穩位姿三大技術矛盾，解決了高性能主動減振關鍵核心技術難題。

超精密主動減振器是高端製造裝備、精密儀器設備的核心功能部件，是保證這些裝備高精度超穩定運行的關鍵。產品應用於半導體高端製造設備、高精密機械加工車牀等領域。該產品不僅可以高效隔離外部振動，還通過實時採集振動信息，基於先進的控制策略生成多維振動控制信號，精準抑制各種內外部擾動導致的台體振動，實現被減振部件接近“絕對靜止”的狀態。

中國超精密主動減振技術長期落後於國外企業，格藍若和陳學東院士團隊一舉突破了超精密主動減振器關鍵技術壁壘，實現國產自主可控。基於前期合作研發成果，格藍若推出超精密型、抗衝擊型、適用真空型等20餘款超精密主動減振器。

（記者 程墨 通訊員 高翔）