工信部推廣國產氟化氬光刻機：分辨率≤65nm
guancha
據微信公眾號“工信微報”消息，近日，工信部發布了《首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》。
“工信微報”介紹道，重大技術裝備是國之重器，事關綜合國力和國家安全。中國首台（套）重大技術裝備是指國內實現重大技術突破、擁有知識產權、尚未取得明顯市場業績的裝備產品，包括整機設備、核心系統和關鍵零部件等。
而觀察者網注意到，在《首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》電子專用裝備目錄下，集成電路設備方面：氟化氬光刻機，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
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