中國芯片刻蝕機之父，永遠38歲！_風聞

在中微公司，開車的司機、看門的招待員都有股票。

作 者丨江上之

華商韜略出品丨ID：hstl8888

2024年8月2日，中微公司成立20週年。

董事長兼總經理尹志堯説：“我有一個美好的憧憬，並且有充分的信心，20年後，當我們慶祝中微40週年時，我們一定再相聚。”

這一年，尹志堯80歲。

20年前剛回國創業時，尹志堯60歲。出租車司機對他説：“您看起來只有38歲！”

尹志堯一聽，爽朗地笑道：“太好了，以後我就是38歲的人。”

突破卡脖子，打造“國之重器”是條艱難的道路，過去的20年，尹志堯走的就是這條路。

半導體是中國最薄弱但最重要的產業之一，半導體關鍵設備則是半導體發展的基礎。半導體設備最關鍵的三種分別是：光刻機、刻蝕機、薄膜機。

尹志堯所創辦的中微公司，目前已是全球排名第四的刻蝕機企業，可全面自主支持中國在這一領域的需求與發展。

在尹志堯的比喻裏，芯片微觀加工就像是剪窗花，薄膜機鋪一層材料紅紙，光刻機在紅紙上畫好花紋，刻蝕機把不要的部分刻掉。

如今，中微公司的刻蝕設備技術能力已達到5納米以及更先進工藝水平，可以全面取代國際先進設備。

5納米的加工能力相當於在人頭髮絲直徑萬分之一的尺度上，修建50-60層樓房。

不僅如此，憑藉行業首創的刻蝕設備雙台機技術，中微公司率先提出“皮米級”加工精度概念，其刻蝕精度已經達到100“皮米”以下水平，相當於人的頭髮絲350萬分之一的精準度。

當前，中微公司的刻蝕機已被一線半導體制造商廣泛採用，涵蓋了65納米、14納米、7納米及5納米等製程，主要客户包括台積電、SK海力士、聯電、中芯國際和長江存儲等。

從能力上看，中微公司基本和國外設備公司處在同一水平，且可以提供雙台機和單台機兩種選擇，而國際幾大設備廠商只有單台機，這是中微公司獨特的亮點所在。

尹志堯説：**“在國內外競爭越來越激烈的情況下，我們沒有別的選擇，一定要有自主可控、自立自強的精神，使我們國產設備儘快達到國際先進水平，甚至在部分領域超過國際先進水平。”**而今天全球一流的芯片生產線上，已有600多個反應台用的全是中微的雙台機。

與之對應，自2021年起，在全球刻蝕設備市場，中微公司的市場份額位居第四位，前三名分別是LAM（泛林集團，又稱科林研發）、TEL（東京電子）、AMAT（應用材料）三家國際大廠。

這意味着，無論技術水平，還是規模實力，中微公司都已達到國際先進水平。

實際上，尹志堯與三家刻蝕機國際大廠中的兩家LAM、AMAT都有很深的淵源。

1944年，尹志堯出生於北京，中學就讀於久負盛名的北京四中，之後考入中國科技大學化學物理系，畢業後在蘭州煉油廠和中科院系統工作了近十年。

1978年，尹志堯考入北京大學化學系，攻讀碩士。他還記得，當時國內最先進的計算機，內存只有128K，卻佔了兩棟大樓，裏面裝着數不清的電子管。

1980年，36歲的尹志堯成為北京大學第二個自費出國留學生。

1984年，已獲得加州大學洛杉磯分校物理化學博士學位的尹志堯，進入硅谷，在英特爾中心研究開發部研發芯片，成為第一個進入英特爾的中國留學生。

當時英特爾已經把128K的容量做到一個指甲蓋大小的芯片上了。

但尹志堯很快開始對設備更感興趣，他認為，沒有微觀加工設備，就造不出芯片，也就不會誕生那麼多偉大的公司。

在一次英特爾對LAM的刻蝕設備採購評估中，尹志堯參與了評價，並且給出了否定意見。當LAM果真失去英特爾的訂單，並瞭解到尹志堯就是那個對其批評最多和建議最多的人，他們卻非但沒有對尹志堯生氣，而是決定把尹志堯挖過去，助力研發刻蝕設備。

此時的LAM已處在崩潰的邊緣，跳槽面臨着巨大的風險。

反覆權衡考慮後，尹志堯還是決定去冒這個險，因為他已經想出怎麼把刻蝕設備做好的辦法。

1986年-1991年，尹志堯在LAM歷任研發部資深工程師、研發部資深經理。5年間，尹志堯開發了彩虹號電容性介質等離子體刻蝕機，也開始了電感性等離子體源ICP技術的開發。

尹志堯的加盟，幫助LAM擊敗了AMAT，成為國際最強刻蝕機公司，市場佔有率超過40%。

這讓AMAT也盯上了尹志堯，並最終將他請了過去。

1991年-2004年，尹志堯在AMAT歷任等離子體刻蝕設備產品總部首席技術官、總公司副總裁及等離子體刻蝕事業羣總經理、亞洲總部首席技術官。

在這期間，他幫助AMAT研發成功了幾種刻蝕機，AMAT的刻蝕機業務也做到世界最大，國際市場份額超40%。

到2004年，尹志堯已在硅谷從事半導體行業20年，參與並領導了國際幾代等離子體刻蝕機的研發，在半導體行業擁有了86項美國專利和200多項各國專利，也成為了國際等離子體刻蝕技術發展和產業化的重要推動者，以及微觀設備領域的“最強大腦”之一。

由此，尹志堯也被譽為**“硅谷最有成就的華人之一”**。

2004年，已在硅谷功成名就，且已60歲的尹志堯，帶着一批資深的行業專家落户上海浦東，創辦了中微公司。

從此，他開始和中國芯片產業的命運緊密相依。

喚醒尹志堯內心深處報國情懷的人是江上舟。

一個國際半導體設備展上，尹志堯偶遇了北京四中的校友，時任上海經委副主任江上舟。

江上舟是公認的“戰略家”和“實幹家”，他較早地意識到半導體芯片是“國之重器”。也正是在江上舟的推動下，張汝京於2000年在上海創立了中芯國際。

江上舟在看了美國AMAT的刻蝕設備後，問尹志堯：“看來刻蝕機比原子彈還複雜，外國人用它來卡我們的脖子，我們能不能自己把它造出來？”

看到尹志堯有些猶豫，江上舟又説：“我是個癌症病人，只剩下半條命，哪怕豁出命去也要為國家造出刻蝕機。我們一起幹吧！”

尹志堯作為中國人的血脈覺醒了。

**“我是一箇中國人，在中國得到了很好的教育，在紅旗下長大的，這個‘根’是去不掉的。”**尹志堯清楚，雖然在美國發展得很好，但美國畢竟不是自己的國家。

他説：“我給美國也做了相當多的貢獻了，已經夠了。但是我缺的一點就是，我沒有回報我的國家。”

尹志堯的祖父尹壽松、父親尹懷莘，都曾在赴日留學後選擇回國，為國家建設和民族工商業發展做出了貢獻。

“給外國人做了這麼多年嫁衣，是時候給祖國和人民做點貢獻了。”尹志堯由此下定決心，延續家族前輩的精神，回國報效。

尹志堯和他的團隊回國了，但和老東家的糾葛還在。

2007年6月，中微公司首台CCP刻蝕設備產品研製成功，並運往國內客户。

2007年10月，AMAT在美國法院以商業秘密侵權為由起訴中微及尹志堯等人。

AMAT認為，一定是從AMAT來到中微的人盜用了該公司的技術，畢竟他們熟悉AMAT的技術。

作為對策，中微公司聘用了美國一流的律師，用兩年半的時間和2500萬美元的律師費，徹查了600萬件內部文件，證明了自己的清白，最終和AMAT和解。

與AMAT的官司未了，尹志堯的前前東家LAM也來“湊熱鬧”。

2009年1月，LAM在中國台灣起訴中微公司侵權。時機選得也很巧，就在中微公司設備剛要進駐中國台灣某大廠之前。

2009年9月，中國台灣智慧財產法院認為LAM主張的專利權不具有新穎性、進步性，駁回LAM訴訟請求。其後LAM雖然兩次提起上訴，但都被駁回。

來而不往非禮也。

2009年2月，中微公司向中國台灣智慧財產局提出舉發，主張LAM兩件涉訴專利無效，最終得到支持。

2010年12月，中微公司在上海起訴LAM侵犯公司商業秘密。2023年6月，法院終審判決，命令LAM銷燬其非法獲取的與中微公司等離子刻蝕機有關的一份技術文件和兩張照片。

值得一提的是，LAW的創始人也是華人，中文名林傑屏。

當以前的合作者成為今天的對手，尹志堯覺得很正常，畢竟在商言商。

與此同時，尹志堯強調的是，只要重視知識產權、商業機密，既遵守我國的法律，也遵守美國的法律，就能立於不敗之地。

“這些較量再一次説明了，‘打鐵還得自身硬’。”尹志堯説，當你從跟跑者變成領跑者，就不怕別人説抄襲了。

因為中微，美國對中國的卡脖子也得到突破。2015年，當中微公司開發的國產等離子體刻蝕設備達到世界先進水平，美國商務部立即就解除了這類設備持續幾十年的出口管制。

不過凡事都有兩面性，越來越硬的中微公司也被美國政府盯得越來越緊了。

2017年1月，美國總統科技專家委員會（PCAST）發佈的國情諮文“確保美國在半導體產業的長期領導地位”報告中，分析中國集成電路的芯片設計、製造、設備、材料和封裝產業，在32頁的報告裏唯一提到的中國公司就是中微公司。

2021年1月，美國國防部無端地把中微公司列入軍事企業清單。經過中微公司四個多月的據理力爭，美國國防部在2021年6月將中微公司從清單上移除。

但是，在2024年1月，美國國防部再次無理由地把中微公司列入在美國有運營的軍事企業清單。

在向美國國防部嚴正交涉、提交有力申述無效的情況下，中微公司於2024年8月在美國正式起訴美國國防部。

經過四個月的訴訟和進一步的據理力爭，美國國防部於2024年12月正式將中微公司從清單移除。

尹志堯表示，此次成功地從清單移除，充分彰顯了中微公司維護自身合法權益的決心和能力。

中微公司官網則稱：“在過去的十七年裏，中微公司在和美國設備公司及美國政府的五次法律訴訟中，四次取得勝利，兩次成功和解。這説明在商業和政府關係上，****只要我們奉公守法，擺事實講道理，據理力爭，鬥智鬥勇，我們就會立於不敗之地。”

除了要做好半導體設備，打造一個全員持股的公司也是尹志堯的志向。

雖然是公司的創始人，但尹志堯在中微公司的持股比例只有0.7%。

尹志堯從小到大都是學生領袖，做了20多年，曾任少先隊大隊委員會主席、共青團委委員。

**“一直受到社會主義教育。所以我夢想就是當我有機會搞一個團體的時候，一定要是共同勞動，共同享受。這是基因，沒有辦法改變的。”**尹志堯説，這是他一輩子追求的願望。

在中微公司，開車的司機、看門的招待員都有股票。

2020年，中微公司上市一年，市值達到1000億元。此時，公司750人裏有375人，也就是整整一半的人是1000萬到1億的身價；有50人是1億到10億的身價；還有325人，包括剛剛從學校畢業入職中微兩三年的，也有100萬到1000萬的身價。

尹志堯認為，**真正的社會主義制度是有錢出錢，有力出力。**資本是一種投資，勞動和智力也是一種投資，都應該產生價值的。

所以，公司在價值生長過程中，可以拿出一部分，變成股權、期權，分給這些創造價值的人。

在中微公司，每一個級別的股權差20%，每一個級別的工資差10%。這是一個非常扁平的分配體系，帶有非常平均的社會主義色彩，尹志堯稱之為“中微特色社會主義”。

在尹志堯看來，全員持股的奇妙之處，是把員工和管理層的長遠利益，和公司的發展綁定，激發團隊活力，保證核心技術團隊的穩定性和持續性。

作為全球半導體設備領域的塔尖人物，尹志堯從來都不是一個個人英雄主義者。

他強調，集成電路需要千百萬人集成的努力，這個產業不是哪一個英雄可以創造出來的，而是千千萬萬的工程師和工人一起合作才能做起來的。

至於自己，他説：

“我沒什麼能耐，現在不會搞別的，就一直咬牙堅持做下去，就會做到世界最好。”

[1]《創業——生命的活力——尹志堯》第一財經

[2]《專訪中微公司創始人、董事長尹志堯：花甲再創業，只為不再“芯”痛》上財商學評論

[3]《尹志堯：我是和摩爾吃過晚飯的人》科工力量