原創 首台國產光刻機（“羲之”光刻機）誕生！打破西方60年壟斷 ……_風聞
本溪老刘-08-29 03:43
原創 首台國產光刻機誕生！打破西方60年壟斷，荷蘭巨頭ASML坐不住了！
2025-08-15 22:16 發佈於：河南省 拾九客棧
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8月14日，一則振奮人心的消息讓世界震動，中國首台國產商業電子束光刻機誕生，在世界達到一流水平。
消息一出，不僅荷蘭光刻機巨頭ASML坐不住了，美國也好像熱鍋上的螞蟻一樣，難以言説對中國的羨慕之情。
此次面世的電子束光刻機名為“羲之”，這就能體現中華文化的博大精深，寓意這款機器像王羲之一樣“入木三分”。
這款“羲之”能通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，就好像用這納米畫筆在芯片上細緻地作畫一樣，能夠靈活地修改和設計圖案。
這也是咱們國家這“羲之”的優點所在，傳統光刻需要掩膜版，而“羲之”卻能直接在芯片上精妙書寫。
其實電子束光刻機和廣義上的光刻機不完全相同，咱平時説的荷蘭ASML的光刻機是EUV光刻機，也就是極紫外光刻機。
EUV光刻機依賴的是光學系統，通過透像將掩膜版上的圖案投影到塗有光刻膠的晶圓上，簡單來説也就是類似“投影成像”。
像是ASML的EUV光刻機的精度，目前可達到5納米以下，效率是很高的，每小時可以處理數十片晶圓。
像是一些手機和電腦所用的芯片，以及人工智能需要的芯片，很多都是這個生產的，畢竟他生產的比較快。
中國剛剛誕生的“羲之”光刻機，不屬於這種利用光學系統的光刻機，而是電子束光刻機。
“羲之”光刻機的精度更加高，達到了0.6納米，但是=如此高精度的光刻機目前是沒辦法進行量產的。
相比於EUV光刻機每小時數十片晶圓，“羲之”光刻機幾個小時才能處理一片晶圓。
當然這兩款光刻機所運用的場所也是不一樣的，“羲之”主要是提供那些芯片研發的，這兩款一個是關於生產的，一個是關於研發的。
可以把電子束光刻機理解成光刻機中的“特種部隊”，進行一些高精密度和小批量研發任務，因此別小看電子束光刻機的重要性。
其實市面上也有電子束光刻機，只不過這在國際上一直是壟斷的，像是德國和日本都有類似的技術，但對中國的把控十分嚴格。
像是中國科學技術大學和之江研究室等先進研究所，長期都沒辦法採購同類的設備，嚴重限制了中國量子芯片前沿領域的研發。
這不僅給咱們國家增加了研發芯片的金錢成本，更是消耗了咱們寶貴的時間，讓中國芯片研發受阻。
“羲之”的出現為何意義重大，原因就在於他打破了國際上對中國電子束光刻機的壟斷，甚至讓國際社會羨慕中國。
因為“羲之”不需要掩膜版，這就意味着如果是想要修改設計的話，不需要再多次更換掩膜版，這極大提高了研發的效率。
別看“羲之”首個國產商業化電子束光刻機，它的性能一點也不遜色，在關鍵指標上已經達到了國際一流水平。
讓人難以置信的事，功能如此強大的電子束光刻機，價格卻十分便宜，相比於ASML的EUV光刻機約15億人民幣來説，能買好幾台“羲之”了。
芯片的研發無疑是一件大工程，電子束光刻機又在芯片的研究初期有着不可替代的優勢，“羲之”的出現可能加快中國整體芯片的研發進度。
因為無需掩膜版，這些設計也不用反覆調試電路結構，“羲之”可以將研發週期縮短50%以上，大量節省了時間成本。
“羲之”也做到了產業鏈的自主化，説他是國產電子束光刻機是因為像一些核心部件都將是國產的，避免被“卡脖子”的風險。
這款“羲之”電子束光刻機是由浙江大學餘杭量子研究所，依託省重點實驗室自主研發，真正做到了劃時代意義的研發。
此次“羲之”的問世也是標誌着我國科技里程碑更一步，中國的芯片研究指日可待，曾經那些被拒絕的研究所都有希望再次用到更好的電子束光刻機。
中科大以及一些高校也能進行配備，這樣不僅能做到商業用途，在教育用途上發揮的價值也是不可估量的。
説“羲之”具有劃時代的意義不僅是他的功能，還有他意味着中國的芯片研發邁出了一大步，也能給後續的光刻機研發提供借鑑價值。
最重要的是，“羲之”也能提高中國半導體領域的地位，這一研究填補了中國這項技術的空白，為中國贏得更多話語權和主動權。
中國在光刻機領域，尤其是電子束光刻機領域，從日本JEOL在1967年推出首台設備以來，被壟斷了大約60年。
之間數不盡的科學家前仆後繼都沒有打破壟斷，一直面臨着技術封鎖和研發中斷等原因，這次“羲之”不僅打破了壟斷，還處於世界主流地位。
“羲之”的出現還能帶動光刻膠、特種氣體上下游產業的國產化，推動整條半導體鏈自主可控。
以美國為首的國際社會對中國芯片產業的封鎖數不勝數，美國都將半導體視為制裁中國的“戰略武器”。
在2025年的5月，美國商務部還以“懷疑華為使用美國技術”這種蹩腳的理由，打算全球禁用中國先進計算芯片。
2020年以來，美國禁止向中國出口14納米以下製程的光刻機、刻蝕機等設備，想要將中國的半導體研究扼殺在搖籃裏。
到了2024年12月進一步擴大限制，將136家中國實體列入了制裁清單，在一系列設計和生產芯片過程中阻撓中國。
可中國豈能讓美國如願，不管是中國昇騰芯片的誕生還是如今“羲之”的出現，都是狠狠地把美國的顏面扔在地上。
如今的中國有望在半導體領域從“跟跑”變為“並跑”，“羲之”的出現又讓咱們看到了“領跑”的可能。
相信終有一天，中國能徹底打破西方的技術封鎖，當美國再次拿技術封鎖作為威脅時，咱們對此會不屑一顧，相信這天很快就會來臨。
信息來源：
杭州日報：全國首台國產商業電子束光刻機在杭“出爐”
21世紀經濟報道：量子芯片研發有了“中國刻刀”，深市同標的最大芯片ETF天弘（159310）漲近3%，寒武紀-U再創新高
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