打破技術封鎖！國產高端儀器取得重大進展

◎ 科技日報記者 金鳳

6月28日，蘇州博眾儀器科技有限公司（以下簡稱“博眾儀器”）發佈國產首台商用200千伏場發射透射電子顯微鏡BZ-F200。該顯微鏡的點分辨率達到0.25納米，晶格分辨率達到0.14納米，能夠直接分辨絕大多數材料的晶格結構。

BZ-F200透射電鏡微縮模型（左），關鍵部件電子源（右）。博眾儀器供圖

透射電子顯微鏡是一種高分辨率的微觀分析儀器。顯微鏡中的電子束穿透樣品後，會攜帶樣品內部結構信息，這些信息經過放大系統成像後，可放大百萬倍，從而幫助使用者觀察原子級圖像。透射電子顯微鏡廣泛應用於納米級的研究與觀測，是材料科學、生命科學和半導體等領域研究所必需的高端儀器設備。

BZ-F200的研發歷時5年。博眾儀器技術總監梁晶博士介紹，此前，高端透射電鏡產業長期被國外儀器公司壟斷，核心零部件受到國外技術封鎖，針對這項痛點，博眾儀器陸續實現了熱場電子槍、超高穩定度電源、熱場電子源、精密加工鏡筒、納米級測角台等核心零部件的自主生產，並在用户先期試用中得到驗證。

梁晶介紹，該顯微鏡主要聚焦材料研發以及前沿科學領域，適用於晶格尺度的結構解析、缺陷分析、界面表徵以及成分分析等研究。

“經過5年的技術攻關與反覆錘鍊，我們已將BZ-F200從整機到每一個關鍵零部件的全鏈條核心技術牢牢掌握在自己手中。”博眾儀器總經理唐愛權表示。