分辨率達納米級，這台顯微鏡何以超“高清”（探一線）

正值暑假，江蘇蘇州大學分析檢測中心一樓的一處空間仍在熱火朝天地施工。“這裏將建設標準實驗室。”中心主任姚志剛攤開設計圖紙，近70平方米的空間計劃設計成一個可屏蔽磁場干擾的“黑盒子”，並朝下挖掘1.2米形成防振動的獨立地基。這裏將迎來一個重要裝置：國產首台商用200千伏場發射透射電子顯微鏡。

透射電子顯微鏡是一種高分辨率的微觀分析儀器。這台顯微鏡的點分辨率達0.25納米，晶格分辨率達0.14納米，可看清亞納米材料的內部結構，達到全球先進水平。雖然實驗室還在搭建，但檢測實驗已排到3年後，包括納米材料、半導體工業、生命科學等學科領域的微觀結構研究，日程表滿滿當當。

這台顯微鏡，何以超“高清”？

這要從光學顯微鏡的成像原理説起：光學顯微鏡的光源為可見光，而電子顯微鏡的光源為電子束。當顯微鏡中的電子束在經高壓加速後穿透樣品時，會攜帶樣品內部結構的信息。“這些信息經過放大系統成像後，可以放大百萬倍，從而幫助使用者觀察亞納米級圖像。”儀器生產廠家、蘇州博眾儀器科技有限公司總經理唐愛權説。

“高清”的秘密在於兩個關鍵因素：波長和像差。“波長越短，分辨率越高。”博眾儀器技術總監梁晶表示，當高壓加速電子束時，會產生很高的能量，讓波長大幅變短。這項技術已很成熟，並不是難題。和光學顯微鏡中可見光數百納米的波長相比，200千伏電壓下電子束的波長僅有2.5皮米（1納米等於1000皮米）。

真正的考驗是解決像差。像差是看到圖像與實際圖像間的誤差。讓誤差變小，不僅要保障電磁透鏡的結構滿足諸多要求，還要實現加速電子束的高壓持續穩定。這些都是技術攻關的難點。

“高端透射電鏡產業長期被國外儀器公司壟斷，核心零部件受到國外技術封鎖，我們歷時5年攻關，實現自主可控、國產替代。”唐愛權説，在精密加工方面，聯動上下游企業，進行鐵磁材料等原材料的好中選優及熱處理等工藝的提質升級，同時自研夾具和制具，實現加工設備與檢測設備的集成創新，保障數千個零部件全部符合精度要求；在高壓穩定方面，通過對電路設計的20多次改版，以及上百次的優化迭代，實現了200千伏電壓的穩定輸出。

透射電子顯微鏡廣泛應用於納米級的研究與觀測，是材料科學、生命科學和半導體等研究領域必需的支撐性研究設備。“我們計劃先進行一年左右的性能驗明工作，再開展科學研究。”姚志剛介紹，為支持國產“首台套”，該設備安裝完畢後將對校內外科研團隊免費開放使用，這樣既能驗證性能，又支持了科研發展，還推廣了高端分析儀器的市場應用，一舉多得。