本地成立世界首條工業級200毫米碳化硅晶圓開放式研發生產線 | 聯合早報
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本地成立世界首條工業級200毫米碳化硅晶圓開放式研發生產線,助力國內外企業研發高性能半導體材料。
新加坡科技研究局總裁馬健德星期三(5月21日)在2025年東南亞半導體展(SEMICON Southeast Asia 2025)上做了上述宣佈。他同時也宣佈啓動“晶圓廠內的實驗室”項目二期工程,以及面向本地起步公司、中小企業發展先進電子設計自動化產業的EDA Garage計劃。
新科研旗下微電子研究院打造的200毫米碳化硅(Silicon Carbide)晶圓開放式研發生產線,旨在促進研究人員和公司之間的碳化硅(SiC)創新合作,加強本地在寬禁帶(wide bandgap)半導體研究方面的能力,並滿足未來的應用需求。
碳化硅(SiC)就是一種典型的寬禁帶半導體材料。禁帶是一種材料中電流流動所需的能量“門檻”,相對於硅等傳統半導體材料,寬禁帶半導體的“門檻”更高,更能在高温和高電壓下工作,也更適合用於數據中心、汽車、航空航天等高端應用領域。
“晶圓廠內的實驗室”(Lab-in-Fab),是新科研微電子研究院,意法半導體(STMicroelectronics)和日本製造工具供應商ULVAC合作,在2020年共同建立和運營的一條專注於200毫米壓電式微機電系統(Piezo MEMS)的研發線。
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壓電微機電系統(piezoMEMS)廣泛應用於傳感器、執行器和能量採集設備,以實現精密檢測和控制。項目第二階段的合作伙伴包括新科研材料研究與工程研究院和新加坡國立大學。